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微机电系统MEMS设计基础PPT学习教案.pptx
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会计学
1
微机电系统
MEMS
设计基础
第二章
MEMS
设计基础
内容提要
硅晶体结构与
微观力学
微尺度效应
MEMS
中的材料应用及
进展
MEMS
设计的基本问题
MEMS
设计的具体方法
第
1
页
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共
45
页
•
金刚石立方形式
=
面心立方结构
+
沿对角线错位
1/4
•
晶格常数
a=5.43
Å
•
每一个硅原子和与之紧邻的四个硅原子组成一个正四面体结构
一、硅晶体结
构与微观力学
分析假设
1
、硅的晶面
/
晶
向
硅的晶胞结构
第
2
页
/
共
45
页
•
晶面
与
晶面族
——( ),三点性质。一般简称晶面
•
不平行的晶面族——
{ }
•
晶向
——
[ ]
•
密勒指数
晶面与晶向
第
3
页
/
共
45
页
各向异性
•
表现:
——
材料性质
(强度等)
——
加工速率
(腐蚀、扩散、注
入等)
硅单晶原子密度
(
111
)
>
(
110
)
>
(
100
)
扩散速度、腐蚀速度
[111]<[
110]<[1
00]
•
原因:晶面原子密
度
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