引 言
在当代迅速发展的科学技术中,科学家需要观察、分析和
正确地解释在一个微米( μm )或亚微米范围内所发生的现
象,扫描电镜和电子探针是两个强有力的仪器,可用它们观
察和检测非均相有机材料、无机材料及在上述微米、亚微米
局 部 范 围 内 的 表 面 特 征 。 在 历 史 上 , 扫 描 电 子 显 微 镜
( SEM )和电子微探针( EPMA )被看作是各自独立的二
种仪器(图 1 图 2 )。虽然在外观上这是明显的,然而这两
种仪器的基本原理却是十分相似的。都用一束精细聚焦的电
子照射需要检测的区域或是需要分析的微体积,该电子束可
以是静止的,或者沿着样品表面以一光栅的方式扫描。其差
别仅仅在于它们感兴趣的信号不同。
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