扫描电镜工作原理科普
扫描电镜工作原理科普是指扫描电镜的工作机理和原理,包括扫描电镜的历史、特点、工作原理、成像原理、物理信号等方面的知识。
扫描电镜的历史:1965年第一台商用SEM问世,SEM能够弥补透射电镜样品制备要求很高的缺点。
扫描电镜的特点:景深大、放大倍数连续调节范围大、分辨本领比较高、样品制备非常方便、可直接观察大块试样、固体材料样品表面和界面分析、适合于观察比较粗糙的表面等。
扫描电镜的工作原理:扫描电镜的成像原理不同于透射电镜,不需要透镜来进行放大成像,而是采用逐点逐行扫描成像的方式。电子束在加速电压作用下经过电子透镜聚焦后,在样品表面进行扫描,激发样品产生各种物理信号,如二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子等。
扫描电镜的成像原理:扫描电镜的成像原理是基于电子束扫描样品表面的方式,电子束的位置与显像管荧光屏上电子束的位置是一一对应的。
物理信号:扫描电镜成像所用的物理信号是电子束轰击固体样品而激发产生的,如二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子等。
二次电子:二次电子是被入射电子轰击出来的样品核外电子,又称为次级电子。二次电子的能量比较低,一般小于50eV。
背散射电子:背散射电子是被固体样品中原子反射回来的一部分入射电子。背散射电子可以分为弹性背散射电子和非弹性背散射电子。
吸收电子:吸收电子是被吸收电子是随着与样品中原子核或核外电子发生非弹性散射次数的增多,其能量和活动能力不断降低以致最后被样品所吸收的入射电子。
扫描电镜的应用:扫描电镜的应用非常广泛,如材料科学、生物医学、地质学等领域。扫描电镜可以对材料的表面形貌进行分析,对生物样本进行观察,对地质样本进行分析等。
扫描电镜工作原理科普是指扫描电镜的工作机理和原理,包括扫描电镜的历史、特点、工作原理、成像原理、物理信号等方面的知识。