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芯片器件设计TCAD仿真知识
芯片器件设计TCAD仿真知识
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芯片器件设计TCAD仿真知识
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主要内容
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2
第一部分
TCAD
基本概念
第二部分
工艺仿真介绍
第三部分
器件仿真介绍
第四部分
器件
——
电路混合仿真介绍
1 TCAD
基本概念
Page
�
3
第一部分
第二部分
工艺仿真介绍
第三部分
器件仿真介绍
第四部分
器件
——
电路混合仿真介绍
TCAD
基本概念
1.1.1 TCAD
基本概念－
TCAD
•
TCAD
：
Technology Computer Aided Design
，指半
导
体工
艺
模
拟
以及器件模
拟
工具
•
工
艺
仿真：所有关
键
制造步
骤
的模
拟
（注入，
扩
散，刻
蚀
，淀
积
，氧化，光刻
）
•
器件仿真：二
维
和三
维
模式下的
电
学、
热
学和光
学特性；模
拟
直流，交流，和
时
域响
应
Page
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4
1.1.2 TCAD
基本概念－数
值计
算
•
数
值
计
算：借助
计
算机的数
值
求解
•
求解
对
象：物理模型方程和
经验
公式
•
关
键
：算法
选择
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5
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