直拉法单晶硅生长原理及工艺

在新能源的开发与利用上,太阳能发电是目前人类所知,可以成熟利用的、清洁安全的、并能够解决人类未来所需的最佳选择。单晶硅太阳能电池作为其中的佼佼者,倍受世界各国研究者的重视和青睐。 本文对直拉法单晶硅生长原理、国内外研究现状及生长工艺(设备工装、杂质掺杂、生长参数、环境参数、温场结构、晶体生长过程等),进行了全面深入的分析。从中发现熔体的流动直接影响到了①晶体生长热系统中的热量传输;②氧杂质的分布情况。对提升晶体质量的意义十分重大。因此通过对紊流进行数值模拟分析和实验数据对比,确定了合理的晶体转速和坩埚转速,并对现有直径为6英寸的直拉法单晶硅生长工艺进行了完善。