单晶硅生长过程中热场与凝固界面形状的对比研究

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单晶硅生长过程中热场与凝固界面形状的对比研究,王晓茜,周俊安,针对实际工业生产用大口径单晶硅结晶炉热场进行了理论建模,建立了全局传热、流动模型,对不同长晶阶段单晶硅提拉炉内的温度、流

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