某半导体厂房洁净室空调系统设计.pdf

半导体厂房洁净室空调系统设计 本文主要介绍了半导体厂房洁净室空调系统的设计，旨在提供稳定可靠的生产环境，保证所生产工艺产品的质量、产品的可靠性及较高的成品率。该系统包括区域一般空调通风、净化空调系统、防排烟系统、工艺排气系统等。 关键词: 电子厂房；空调；设计 洁净室空调系统的设计是半导体厂房生产环境的关键部分。该系统的设计主要考虑了洁净室的温湿度、洁净度、气流分布、气流速度、室内压力等参数控制在某一需求范围内。 本文首先介绍了半导体厂房洁净室空调系统的设计概况，然后详细介绍了洁净室空调系统的设计，包括洁净室空调系统的形式、气流组织形式、洁净空调原理图、MAU 机组设置、洁净区所用的新风系 thống、洁净室自控系统设计等。 洁净室空调系统的形式采用 FFU（Fan Filter Unit 风机过滤单元）+DCC（Dry Cooling Coil 干冷却盘管）+MAU（Makeup Air Unit 集中新风机组）的系统形式，气流组织形式为顶送下回，干盘管位于吊顶上方。 在洁净室空调系统设计中，气流组织形式的选择对洁净室的温湿度、洁净度、气流分布、气流速度、室内压力等参数控制具有重要影响。 MAU 机组设置在三层空调机房，MAU 规格为 95000CMH，4 台（三用一备）。新风空调机组由进风段、G4 板式初效过滤段、F8 袋式中效过滤段、预热盘管段（38/32℃）、预冷段（6/13℃）、ＲO 水喷淋水洗加湿段、低温冷冻水表冷段（6/13℃）、再热盘管段（38/32℃）、风机段、化学过滤器段、化学过滤段、F9 中效过滤段、H14 高效过滤段、出风段以及相关的检修功能段组成。 洁净室自控系统设计包括自动控制系统、P＆ID-新风机组控制原理图、P＆ID-洁净室控制原理图等。自动控制系统可以取代大量人力，还可以提供系统偏离设计值的早期预警，并将分析整理过的信息传送到工程师与主管作为系统管理的依据。 半导体厂房洁净室空调系统的设计是半导体厂房生产环境的关键部分，旨在提供稳定可靠的生产环境，保证所生产工艺产品的质量、产品的可靠性及较高的成品率。