罗茨真空泵

罗茨真空泵的最大优点是在较低入口压力时具有较高的抽气速率，但它不能单独使用，必须有一台前级真空泵串联，待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到罗茨真空泵允许人口压力时，罗茨真空泵才能开始工作，并且在一般情况下，罗茨真空泵不允许高压差时工作，否则将会过载和过热而损坏，因此使用罗茨真空；泵时必须合理地选用前级真空泵，安装必要的保护设备。