供激光器用的真空泵

在小型激光器系统中，是用油封机械泵给循环的工作气体连续抽气，使其在冷却和纯化之后回到激光器。对于较大的激光器，是用罗茨泵来维持总气流，但油封机械泵仍然需要，用以提供预备真空并连续抽掉辅助气体流，以便除去不要的气体分子，使纯化后的气体以任意必要的组分返回激光器。