干涉误差

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干涉误差

: 基于Matlab的加工钻头螺旋槽砂轮截形的干涉误差分析.pdf 在进行加工钻头螺旋槽的砂轮截形的干涉误差分析中,按照磨床加工时钻头、砂轮和机床的相对位置,建立了加工螺旋槽的砂轮的数学模型,提出了砂轮截形的反求理论;基于砂轮截形的反求理论,定量分析求得干涉值ΔR;采用...
评级：0 浏览量：180 收藏量：0 资源大小：1.1MB 上传时间：2021-06-21

: 基于Matlab的加工钻头螺旋槽砂轮截形的干涉误差分析.rar 基于Matlab的加工钻头螺旋槽砂轮截形的干涉误差分析.rar
评级：0 浏览量：49 收藏量：0 资源大小：1.06MB 上传时间：2021-09-29

: 光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析在分析光栅横向剪切干涉仪典型结构及系统参数配置，给出其适用范围的基础上，系统研究了该干涉仪结构最显著的系统误差：几何光程误差和探测器倾斜误差。采用Zernike多项式给出波前重建前后系统误差项的解析表达式；...
评级：0 浏览量：101 收藏量：0 资源大小：6.6MB 上传时间：2021-02-05

: Ronchi相移剪切干涉仪及其相位提取误差分析结合传统的五步相移算法，采用所提出的八步与十步相移算法，对Ronchi相移剪切干涉仪的相位提取误差进行理论分析和仿真计算。仿真结果说明，八步和十步相移算法可以有效地消除多级衍射光寄生干涉对相位提取精度的影响...
评级：0 浏览量：138 收藏量：0 资源大小：6.55MB 上传时间：2021-02-12

: 外差激光干涉仪非线性误差分析及测量对外差激光干涉仪中的非线性误差理论进行了综述，着重分析了一阶、二阶非线性误差的形成机理、非线性误差的大小及表现形式，并对非线性误差检测和补偿方法的研究进展进行了详细阐述和分析，指出了各类方法的应用特点...
评级：0 浏览量：192 收藏量：0 资源大小：7.34MB 上传时间：2021-02-04

: 迈克耳孙干涉仪中的镜面面形误差研究分析从迈克耳孙干涉仪干涉原理出发，分析了圆形镜面抛光面形误差对干涉调制度的影响。由于存在镜面面形误差，干涉调制度不能达到理想情况下的100%，但其干涉调制度不能低于理想情况下的90%。通过分析和讨论，镜面面形...
评级：0 浏览量：431 收藏量：0 资源大小：2.82MB 上传时间：2021-02-04

: 引起激光干涉仪测量误差的原因分析今天我们来扒一扒引起激光干涉仪测量误差的部分原因。1、阿贝误差因测量光学镜组的安装高度不在被测设备的运动轴上引起的测量误差称之为阿贝误差。产生的原因是设备移动时存在俯仰、扭摆差，因此光学镜组与运动轴...
评级：0 浏览量：184 收藏量：1 资源大小：439KB 上传时间：2021-01-20

: 实验三平面电磁波的反射和干涉实验平面电磁波的反射和干涉实验的matlab仿真及word报告
评级：0 浏览量：454 收藏量：1 资源大小：293KB 上传时间：2021-05-31

: 点衍射干涉仪系统误差标定点衍射干涉仪是现代超高精度面形测量中常用干涉仪，其参考波由一定尺寸针孔衍射产生，因此摆脱了参考元件面形误差对测量精度的限制，使纳米及纳米级以下精度测量成为可能。点衍射干涉仪由于其结构特点，主要的系统...
评级：0 浏览量：97 收藏量：0 资源大小：3.95MB 上传时间：2021-02-12

: 二维快速傅里叶变换干涉图相位提取误差分析基于ZYGO干涉仪实测干涉图，利用二维快速傅里叶变换(FFT)法进行相位提取，并与相移干涉相位测量结果进行比对，对影响FFT法相位提取精度的边缘误差、窗函数、滤波器设计、干涉图延拓以及载波条纹数等因素进行了综合...
评级：0 浏览量：596 收藏量：1 资源大小：4.88MB 上传时间：2021-03-04

: 外差干涉仪混频误差分析共光路外差干涉仪具有很高的分辨率,但因为安装、调试误差会产生非线性误差,影响系统的测量精度。着重分析了在共光路外差干涉仪中由激光光源的椭圆偏振化和沃拉斯顿棱镜的安装方位角误差同时存在的情况下,引起的频率...
评级：0 浏览量：97 收藏量：0 资源大小：640KB 上传时间：2021-02-11

: 632.8 nm 高精度移相菲佐干涉仪测量误差分析通过对检测凹面和凸面的632.8 nm 移相菲佐干涉仪的基本结构和测量原理的分析,指出影响干涉仪测量精度的几种主要误差：移相误差、几何结构误差、振动误差、探测器误差(非线性误差和量化误差)、光源误差(波长不稳定和...
评级：0 浏览量：209 收藏量：0 资源大小：512KB 上传时间：2021-01-25

: 用劳埃德镜干涉原理进行圆度误差测量论述了系统利用劳埃德镜干涉装置,通过线阵CCD图像处理系统自动测量圆度误差的工作原理及过程设计。测量结果表明,新的测量方法实现了圆度误差的实时精确在线测量。该测量系统具有一定的实用价值及较广阔的应用前景。
评级：0 浏览量：124 收藏量：0 资源大小：726KB 上传时间：2021-02-13

: 光频扫描干涉绝对测距漂移误差与补偿方法研究光频扫描干涉(OFSI)技术是一种具有广阔发展前景的高精度绝对测距技术。在实际应用中, 该技术对...另外, 与干涉仪的对比实验结果显示, 本方法所得残余误差的标准差由补偿前的18.6 μm减小到5.6 μm, 提高了测量精度。
评级：0 浏览量：103 收藏量：0 资源大小：3.74MB 上传时间：2021-02-22

: 干涉仪测光波长移动所引入的相位误差在理论分析的基础上, 对国际上目前广泛采用的干涉法测量光纤布拉格光栅(FBG)传感系统中的光波长移动所存在的相位测量原理误差进行了实验研究, 提出了双相位锁相放大器加动态补偿的测量方案。结果表明, 直接用锁相...
评级：0 浏览量：74 收藏量：0 资源大小：1.64MB 上传时间：2021-03-05

: Ronchi 相移剪切干涉仪及其相位提取误差分析 Ronchi 相移剪切干涉仪及其相位提取误差分析
评级：0 浏览量：78 收藏量：0 资源大小：512KB 上传时间：2021-04-05

: 基于激光干涉仪的影像测量仪定位误差和补偿的研究 "基于激光干涉仪的影像测量仪定位误差和补偿的研究" 本文研究了基于激光干涉仪的影像测量仪的定位误差和补偿问题。首先介绍了激光干涉仪的工作原理，然后使用激光干涉仪对测量仪工作平台进行了误差检测。运用分段...
评级：0 浏览量：153 收藏量：0 资源大小：228KB 上传时间：2020-06-29

: 干涉仪测向干涉仪测向具有精度高、速度快的特点，在无源探测定位系统中具有广泛的...本课题研究分数阶干涉仪测向的算法，同时实现宽带、高精度、无模糊的要求，并研究不同分数比、相位测量误差对测向精度的影响，进行仿真验证。
评级：4 浏览量：2140 收藏量：13 资源大小：2KB 上传时间：2018-02-28

: 相移干涉仪中探测器非线性误差及其补偿通过对多个相移算法的理论分析和数值模拟,发现探测器的非线性响应在相位中会引入2倍空间频率的系统误差。结果表明,非标准相移算法随着探测器非线性度的增加,相对误差也越来越大。提出了压电陶瓷驱动器的移相误差和...
评级：0 浏览量：134 收藏量：0 资源大小：484KB 上传时间：2021-02-11

: 同步移相干涉测试中的系统误差校正相比于传统的时域移相干涉术(TPSI)，同步移相干涉术(SPSI)能够抵抗振动等时变干扰因素的影响，但其普遍采用的分光和偏振移相结构给测试系统引入了新的误差。提出一种系统误差校正方法，在同步移相测试系统中将球面被...
评级：0 浏览量：105 收藏量：0 资源大小：3.32MB 上传时间：2021-02-09

: 偏振激光干涉仪的非线性误差实时校正方法提出一种偏振激光干涉仪的误差校正方法，可实时地对干涉信号的非线性误差进行校正。由于单频激光干涉仪中的光电元件存在的参数误差和位置误差以及外界环境因素的影响，使得输出的4路干涉信号的正交性受到破坏，产生...
评级：0 浏览量：123 收藏量：0 资源大小：2.73MB 上传时间：2021-02-05

: Interferometer.rar_干涉仪_干涉仪 matlab_干涉测向_测向定位_误差理论用于比较一维干涉仪测向的理论测向误差与实际测向误差
评级：3 浏览量：303 收藏量：1 资源大小：30KB 上传时间：2022-07-15

: Mirau型干涉显微物镜干涉平板装配误差容限分析针对Mirau型干涉显微物镜中干涉平板的装配误差问题,建立了参考板倾斜时的干涉光强表征模型,通过对光瞳面内测试光束和参考光束的分割,求解参考板倾斜时干涉光强的积分表达形式,通过数值计算定量分析参考板倾斜度对...
评级：0 浏览量：94 收藏量：0 资源大小：8.38MB 上传时间：2021-02-22

: 基于菲佐干涉仪测风激光雷达的误差分析详细分析了基于菲佐(Fizeau)干涉仪测风激光雷达利用条纹重心法反演风速时的方法误差和系统噪声引起的测量误差。提出了方法误差的修正方法,推导出了测量误差理论公式。并用蒙特卡罗方法模拟了低对流层的回波信号,并对...
评级：0 浏览量：81 收藏量：0 资源大小：682KB 上传时间：2021-02-11

: 论文研究-一种改进的干涉式天线阵及其测向误差分析 .pdf 一种改进的干涉式天线阵及其测向误差分析，贺庆，，干涉式测向机存在着阵孔径大小和准确度之间的矛盾。为解决这一问题，提出了一种新型天线阵及基于该天线阵的测向方法。重点讨论了
评级：0 浏览量：100 收藏量：0 资源大小：334KB 上传时间：2019-08-16

: 动态干涉仪干涉图位置配准及移相误差校正为抑制动态干涉仪系统中存在的干涉图空间位置匹配误差以及移相误差，采用相位相关算法和载频交叠重构干涉术，前者以光斑边缘为匹配特征，通过配准测试光斑，实现对4幅移相干涉图在空间位置上的像素级配准；...
评级：0 浏览量：71 收藏量：0 资源大小：3.39MB 上传时间：2021-01-25

: 干涉测量圆柱内表面的失调误差分析通过菲佐型干涉系统、直角圆锥反射镜的一次性测量, 可获得圆柱形光学元件整周的面形信息。为实现高精度的面形测量, 实验装置的校准至关重要, 但由于调整机构的缺陷导致圆锥反射镜和被测圆柱的空间方位难以确定, 距离...
评级：0 浏览量：92 收藏量：1 资源大小：10.95MB 上传时间：2021-02-07

: 用于光刻投影物镜检测的高精度菲佐干涉仪误差分析通过理论分析和计算模拟,分别对相移误差、参考面误差、探测器非线性误差等系统误差以及光源稳定性、环境控制等影响干涉仪测量精度的主要因素进行分析,给出了测量误差大小与干涉仪结构参数之间的关系。计算结果表明,...
评级：0 浏览量：69 收藏量：0 资源大小：1.01MB 上传时间：2021-02-09

: 基于载频交叠重构干涉术的大口径干涉仪相移误差校正方法为抑制Φ600 mm相移式菲佐干涉仪中波长调谐误差以及振动带来的测量误差，提出了一种可用于波长调谐移相干涉仪的误差校正方法。将4幅载频干涉图按列交叠重构得到时空条纹图，由于载频的存在实现了误差谱与相位谱的...
评级：0 浏览量：116 收藏量：0 资源大小：5.95MB 上传时间：2021-02-08

: 频率扫描干涉仪漂移误差正反向扫描补偿法频率扫描干涉仪对测量过程中光程差的漂移非常敏感，目标镜的微小位移会被放大几千倍，使得测量结果严重失真，因此必须消除或减弱漂移误差。针对现场测量中目标镜的低频振动或缓慢漂移，根据光频连续正反向扫描测量值...
评级：0 浏览量：75 收藏量：0 资源大小：2.24MB 上传时间：2021-02-05

: 一种新的相移点衍射干涉仪系统误差标定方法相移点衍射干涉仪利用测试波和参考波的横向错位产生载波干涉条纹，因此测量结果中必然引入一定的系统误差。在分析相移点衍射干涉仪主要系统误差源的基础上，提出了一种新的系统误差标定方法，即旋转光栅法。该方法...
评级：0 浏览量：88 收藏量：0 资源大小：1.7MB 上传时间：2021-02-06

: 基于激光干涉仪的数控机床定位精度检测与误差补偿方法.pdf 基于激光干涉仪的数控机床定位精度检测与误差补偿方法
评级：0 浏览量：318 收藏量：1 资源大小：742KB 上传时间：2021-04-01

: 论文研究 - 自动跟踪激光干涉仪测量机床几何误差的研究提出并研究了一种自动跟踪激光干涉仪（ATLI），用于测量机床或坐标测量机（CMM）的垂直度误差。该过程只测量一根轴的线，测量结果不仅为我们提供了有关定位误差的信息，还为我们提供了关于垂直度误差的信息。这种...
评级：0 浏览量：93 收藏量：0 资源大小：969KB 上传时间：2020-05-26

: 低相干光干涉法延时测量中的误差分析延时测量误差来源于干涉信号强度误差和纯相位误差。理论分析和仿真计算表明，延时误差与相位误差成正比；强度噪声引起的相位误差与噪声强度成正比，且该类噪声可通过曲线拟合算法得到有效抑制。实验表明，温度等环境...
评级：0 浏览量：125 收藏量：0 资源大小：2.24MB 上传时间：2021-02-26

: 基于误差互补修正的微球干涉测量相位提取方法针对微球移相干涉测量中系统校准差及离焦引入的线性移相误差对相位信息提取产生的影响及特点，在分析了常用移相算法应用缺陷的基础上，构造了新的五帧算法。该算法对线性移相误差的响应特性与Hariharan算法十分接近...
评级：0 浏览量：96 收藏量：0 资源大小：3.02MB 上传时间：2021-02-13

: 外差激光干涉测长非线性误差的消除外差激光干涉仪能够通过...为此，通过光学相位补偿理论的研究得出一种消除激光干涉仪非线性误差的方法，它可以应用在大部分科学实验和工业制造中的纳米长度测量中，而且不论是一阶或二阶误差都可以通过这个方法被消除。
评级：0 浏览量：64 收藏量：0 资源大小：1.44MB 上传时间：2021-02-06

: 基于波长移相的多表面干涉测量原理与误差分析比较了不同取样帧数及不同干涉光频谱变化范围下的误差最大值与方差的变化。与原始仿真面形比较，在理想情况下，该方法测得面形误差优于10－4λ。采用该方法对一实验元件的三表面干涉图进行分析计算，并与Zygo干涉仪...
评级：0 浏览量：207 收藏量：1 资源大小：3.15MB 上传时间：2021-02-08

: 激光外差干涉非线性误差的测量方法 (2010年) 为了调整激光外差干涉光路中的光学元件，减小或抑制测量非线性误差，研究了非线性误差测量的机理和方法．基于对激光外差干涉测量信号的频谱分析，提出了非线性误差的测量方法．根据建立的非线性误差与测量信号幅度...
评级：0 浏览量：326 收藏量：0 资源大小：289KB 上传时间：2021-05-26

: 基于Heydemann 法的干涉仪误差修正方法的研究分析了各种典型的单频激光干涉仪非线性误差修正方法如基于Heydemann方法基于干涉信号波峰和波谷的方法基于神经网络的NN方法在基于Heydemann方法的基础上提出了一种改良方法迭代法
评级：0 浏览量：299 收藏量：0 资源大小：1.62MB 上传时间：2014-11-21

: 单频激光干涉仪中偏振分光棱镜误差与补偿提出了单频激光干涉仪中偏振分光棱镜（PBS）误差的在线补偿方法。研究了入射条件对PBS偏振特性的影响，定量给出了斜入射时PBS的琼斯矩阵；研究了PBS的偏振误差对单频激光干涉仪的影响，通过对光源输入光偏振态和PBS...
评级：0 浏览量：105 收藏量：0 资源大小：3.49MB 上传时间：2021-02-05

: 精密干涉测量中余弦依赖算法的误差研究针对相移算法中以双光束干涉为基础的余弦依赖算法的算法误差,以菲佐干涉仪精密测长为应用背景进行了研究。利用干涉光学的基本原理导出了在多束光干涉(经光学面多次反射、透射)的情况下干涉光强随相位分布的精确公式;...
评级：0 浏览量：70 收藏量：0 资源大小：861KB 上传时间：2021-02-11

: 频率扫描干涉法绝对测距中运动误差的补偿研究在频率扫描干涉法绝对距离测量过程中，目标的运动会对测量结果引入误差，经推导发现运动误差与激光扫频终点频率以及扫频过程中的光程差位移量有关。前者可直接通过高精度波长计测量，对于后者，提出了外差干涉频分...
评级：0 浏览量：115 收藏量：0 资源大小：1.24MB 上传时间：2021-02-26

: 光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法针对光栅横向剪切干涉仪研究了旋转绝对检测的方法，并用前36项Zernike多项式标定出剪切装置的系统误差非对称项。研究结果表明，将面形检测的绝对算法应用于检测镜头系统波像差，在干涉仪系统误差消除后可以达到相对...
评级：0 浏览量：85 收藏量：0 资源大小：7.32MB 上传时间：2021-01-27

: 单频激光干涉仪非线性误差补偿方法研究提出了一种用于单频激光干涉仪的非线性误差被动补偿方法。利用干涉仪中波片位置的在线预置，实现干涉仪偏振态的超前调整，补偿干涉仪中由偏振分光棱镜、消偏振分光棱镜以及波片的性能和位置非理想导致的非线性误差。...
评级：0 浏览量：96 收藏量：0 资源大小：3.57MB 上传时间：2021-02-12

: 减小外差干涉一次谐波非线性误差的方法为了补偿激光外差干涉纳米测量中的非线性误差,提出了一种减小非线性误差的一次谐波方法。基于全反射理论分析了镀膜实体角锥棱镜反射光偏振特性,并由此推导出角锥棱镜反射光偏振特性及测量角锥棱镜以其运动方向为轴线...
评级：0 浏览量：78 收藏量：0 资源大小：613KB 上传时间：2021-02-10

: 干涉条纹抖动误差的消除方法探讨 (2011年) 针对不可避免的激光光束的指向误差带来的干涉条纹抖动,去除干涉图像高频部分从而找到干涉条纹抖动量并进行误差消除.在非局域空间光孤子大相移的测量实验中,运用此方法,成功地得到了消除激光器指向误差的相位随功率的...
评级：0 浏览量：61 收藏量：0 资源大小：279KB 上传时间：2021-05-16

: 加速度对激光双频干涉仪测量误差的影响为了减少由于加速度所导致的激光双频干涉仪测量误差,引入二阶多普勒频移,建立了由被测物体加速度所引起的测量误差的理论模型。仿真结果表明,在0.4s时间内0.6g加速度所引起的累积误差可达2.5 nm左右,这对于纳米精度的...
评级：0 浏览量：67 收藏量：0 资源大小：681KB 上传时间：2021-02-10

: 点衍射波前无镜头干涉测量中横向偏移误差校正方法为了最大程度减少误差环节，点衍射球面波前精度的干涉测量中通常采用无镜头测量方式。点衍射干涉波前在大数值孔径与大横向偏移量情况下存在的结构误差将严重影响测量精度，且无法利用传统方法加以校正。针对该问题，...
评级：0 浏览量：92 收藏量：0 资源大小：6.66MB 上传时间：2021-02-07

: 扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制为了提升扫描干涉场曝光光束对准精度，保证制作的光栅掩模槽形的质量，建立了曝光光束对准误差模型，利用模型对光束对准误差进行了分析。同时为了满足系统对光束重叠精度的要求，设计研制了光束自动对准系统，并对...
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