气敏薄膜

长周期光纤光栅气敏薄膜传感器结构优化 基于三包层长周期光纤光栅模型，研究了包层表面涂覆一层溶胶凝胶气敏薄膜的长周期光纤光栅化学传感器的灵敏度Sn与薄膜光学参量(折射率n3和厚度h3)和光纤光栅结构参量(光栅周期、折变量和光栅长度)之间的关系。...

评级：0 浏览量：63 收藏量：0 资源大小：1000KB 上传时间：2021-02-12

ZnO气敏薄膜元件外延中非故意杂质演变机制 采用金属有机源化学气相沉积(MOCVD)方法在(0001)蓝宝石上生长了具有缓冲层的氧化锌(ZnO)薄膜。利用变温霍尔效应(TDH),电容电压测试仪(CV)和光致发光谱(PL)对其进行了表征。通过拟合变温霍尔效应的测试结果发现氧化锌...

评级：0 浏览量：85 收藏量：0 资源大小：662KB 上传时间：2020-06-23

杂质银对氧化锌薄膜气敏光学特性的影响 用反应式射频磁控溅射方法制备了纯氧化锌(ZnO)薄膜和掺Ag的ZnO气敏光学传感薄膜。测量了这些薄膜在NOx气体中的透射光谱,然后由透射光谱获得了灵敏度的变化规律,发现掺Ag后的ZnO薄膜对NOx气体的灵敏度高于纯ZnO薄膜,...

评级：0 浏览量：43 收藏量：0 资源大小：925KB 上传时间：2021-02-11

半导体气体传感器敏感薄膜结构的改进与分析.pdf 半导体气体传感器是利用半导体气敏元件同气体接触，造成半导体性质发生变化，借此检测特定气体成分及其浓度。电阻式半导体传感器是使用氧化锡、氧化锌等金属氧化物材料制作的敏感元件，利用其阻值的变化来检测气体的...

评级：0 浏览量：45 收藏量：0 资源大小：150KB 上传时间：2021-08-29

气敏材料纳米WO3薄膜制备关键问题 气敏材料纳米WO3薄膜制备关键问题，何志巍，，纳米WO3薄膜是一类重要的电致、气致变色材料、半导体气敏材料、电磁波吸波材料和化学催化材料，而高质量高性能材料的制备是其研究

评级：0 浏览量：115 收藏量：0 资源大小：219KB 上传时间：2019-12-29

微型薄膜气敏元件芯片的传热系数和热功耗 (2005年) 热功耗是关系到气敏元件的应用、热特性分析和工艺设计的重要参数，至今无计算气敏薄膜元件热功耗的实用公式；在研究微型薄膜气敏元件引线的散热量，芯片传热系数随芯片尺寸和温度变化的规律的基础上，给出了热功耗的...

评级：0 浏览量：37 收藏量：0 资源大小：4.4MB 上传时间：2021-04-28

锡掺杂氧化锌薄膜乙醇气敏性的研究 (2012年) 以载玻片为基片,依次采用溶胶凝胶、浸渍提拉和热处理方法制备掺杂锡的氧化锌薄膜气敏材料.分别采用红外光谱对氧化锌溶胶体系进行表征;扫描电子显微镜(SEM)观察氧化锌薄膜的表面形貌;主要利用电化学工作站测量极限...

评级：0 浏览量：54 收藏量：0 资源大小：538KB 上传时间：2021-05-15

基于有机气敏变色材料的传感器系统 近年来，Illinois大学的Kenneth S．Slasliek教授根据一系列在阵列上固定下来的气敏染剂对不同气体的颜色反应，研制出了一种新的气体检测阵列。该阵列对于某一特定的被分析物具有良好的线性响应，对于某一被分析物的...

评级：0 浏览量：36 收藏量：0 资源大小：247KB 上传时间：2021-01-19

论文研究 - 气敏应用金属有机化学气相沉积铬掺杂氧化锌薄膜的合成与表征 研究了铬浓度对薄膜的形态，结构，光学，电学和气敏性能的影响。 扫描电子显微镜结果表明，Cr的浓度对结晶度，表面光滑度和晶粒尺寸有很大的影响。 X射线衍射（XRD）研究表明，薄膜本质上是多晶的，并以六方纤锌矿...

评级：0 浏览量：108 收藏量：0 资源大小：5.47MB 上传时间：2020-05-25

金属氧化物半导体薄膜气敏机理研究进展.pdf 金属氧化物半导体薄膜气敏机理研究进展.pdf

评级：0 浏览量：53 收藏量：0 资源大小：813KB 上传时间：2021-08-29

新型碳纳米管复合薄膜材料的气敏性能 (2010年) 采用射频反应磁控溅射锡( Sn)靶和钨( W)靶的方法制备了SnO2 /WO3/MWCNT 复合薄膜材料和相应的气敏传感器,通过FSEM、X RD和XPS等方法分析了复合薄膜材料 的横断面表面形貌、物相结构及表面化学组成,测试了该气敏...

评级：0 浏览量：31 收藏量：0 资源大小：358B 上传时间：2021-04-22

物联网-智慧传输-基于半导体纳米薄膜的酒精气敏传感器构建及性能研究.pdf 物联网-智慧传输-基于半导体纳米薄膜的酒精气敏传感器构建及性能研究 本研究论文主要集中于基于半导体纳米薄膜的酒精气敏传感器的构建和性能研究，以解决交通事故中酒驾引发的严重威胁。论文首先介绍了基于纳米结构...

评级：0 浏览量：38 收藏量：0 资源大小：2.25MB 上传时间：2022-07-08

直流反应磁控溅射WO3薄膜气敏特性研究 (2007年) 用直流反应磁控溅射法制成纳米结构的WO3薄膜气敏传感器，通过XRD，SEM和XPS对该薄膜的晶体结构和化学成分进行分析，研究了不同基片上制备的WO3薄膜的氨敏特性与薄膜厚度、退火温度的关系．实验得到的薄膜粒径大小约...

评级：0 浏览量：51 收藏量：0 资源大小：491KB 上传时间：2021-04-27

多孔棉絮状TeO2薄膜的制备及其乙醇气敏特性 多孔棉絮状TeO2薄膜的制备及其乙醇气敏特性，公月，陈思含，以四氯化碲与乙醇反应生成前驱体氯代乙醇碲，采用非水解溶胶?凝胶法制备出多孔棉絮状TeO2薄膜，并利用X射线衍射、扫描电子显微镜对

评级：0 浏览量：111 收藏量：0 资源大小：514KB 上传时间：2020-01-09

新型金属氧化物薄膜气敏元件基材料的开发 (2009年) 根据电导气敏机理的氧负离子理论，提出制备n型金属氧化物气敏基材料的理论，指出禁带宽度Eg>2ev的金属氧化物材料都有可能研制薄膜气敏元件，并通过Fe2O3／1％Sb2O3和TiO2薄膜元件的制备和表征，论证了该理论的正确性...

评级：0 浏览量：24 收藏量：0 资源大小：240KB 上传时间：2021-06-11

平面工艺SnO2薄膜甲醛气敏元件的研究* (2009年) 用ANSYS仿真软件得到最优化的气体传感器电极结构，采用平面工艺在硅衬底上制作了3mm×2mm的直热式SnO2薄膜甲醛气敏元件。用溶胶凝胶（sol-gel）法制备了掺Pd的纳米SnO2薄膜，材料的平均粒径约为15nm。元件的最佳工作...

评级：0 浏览量：48 收藏量：0 资源大小：167KB 上传时间：2021-04-25

Dy3+和La3+掺杂ZnO薄膜的特点及其气敏传感特性 (2013年) 在对ZnO薄膜气敏特性的测量中，在低温条件下掺杂ZnO薄膜的电阻比非掺杂ZnO薄膜的小，且对乙醇和丙酮的灵敏度显著增强，且其中Dy掺杂的ZnO薄膜的气敏特性较La掺杂的ZnO薄膜为高．而空气中暴露9个月后的薄膜的气敏特性...

评级：0 浏览量：36 收藏量：0 资源大小：306KB 上传时间：2021-06-14

网络游戏-基于三维网络结构敏感薄膜的柔性气体传感器及制备方法.zip 网络游戏-基于三维网络结构敏感薄膜的柔性气体传感器及制备方法.zip

评级：0 浏览量：30 收藏量：0 资源大小：434KB 上传时间：2021-09-19

基于ZnO装饰的氧化镍薄膜增强的气敏特性用于甲醛检测 基于ZnO装饰的氧化镍薄膜增强的气敏特性用于甲醛检测

评级：0 浏览量：34 收藏量：0 资源大小：282KB 上传时间：2021-03-13

纳米气体敏感材料的喷射共沉淀法制备及特性 Ｇａ２Ｏ３最近被发现是具有高灵敏度的气敏材料，Ｍ．Ｐａｓｓｌａｃｋ等研究了Ｇａ２Ｏ３的电学和光电性能［２］，Ｖ．Ｋ．Ｊｏｓｅｐｏｖｉｔｓ等研究了βＧａ２Ｏ３表面的气体吸附状况，认为Ｇａ２Ｏ３表面吸附...

评级：0 浏览量：56 收藏量：0 资源大小：108KB 上传时间：2020-12-09

硬脂酸复合薄膜光波导元件的气敏性研究* (2012年) 利用旋转-甩涂法将聚乙烯吡咯烷酮（PVP）-硬脂酸复合薄膜固定在钾离子（K+）交换玻璃光波导表面，研制了PVP-硬脂酸复合薄膜/K+交换玻璃光波导元件，用于对挥发性有机物蒸汽进行检测。实验结果表明，在室温下该元件对...

评级：0 浏览量：48 收藏量：0 资源大小：317KB 上传时间：2021-05-10

MB／PVP薄膜光波导传感元件对甲醛的气敏性研究* (2009年) 以亚甲基兰(MB)作为敏感试剂，利用旋转甩涂法将掺有成膜剂聚乙烯吡咯烷(PVP)的MB溶液固定在玻璃光波导表面，研制了MB／PVP薄膜光波导传感元件，并且检测出了低浓度的甲醛蒸汽。实验结果表明，当被测气体接触到MB／ ...

评级：0 浏览量：36 收藏量：0 资源大小：236KB 上传时间：2021-04-25

SnO2：Pt薄膜和SnO2/SnO2：Pt双层膜气敏响应的次方因子 (2004年) 用粉末溅射方法制备了体掺杂型SnO2：Pt薄膜和表面层掺杂SnO2，SnO2：Pt双层膜，测量了薄膜在不同CO体积分数下的灵敏度和电导。...对两种薄膜测量结果的比较说明，这两种薄膜的气敏响应主要发生在薄

评级：0 浏览量：56 收藏量：0 资源大小：1.49MB 上传时间：2021-05-08

具有微结构的铝掺杂氧化锌薄膜的制备及其在气敏应用中的应用 具有微结构的铝掺杂氧化锌薄膜的制备及其在气敏应用中的应用

评级：0 浏览量：56 收藏量：0 资源大小：363KB 上传时间：2021-03-13

行业分类-设备装置-对向靶磁控溅射制备三氧化钨薄膜气敏传感器的方法.zip 行业分类-设备装置-对向靶磁控溅射制备三氧化钨薄膜气敏传感器的方法.zip

评级：0 浏览量：88 收藏量：0 资源大小：522KB 上传时间：2021-08-24

氧化锌单层空心球阵列薄膜的...下对二氧化氮的超快气敏响应_王弘.caj 氧化锌单层空心球阵列薄膜的...下对二氧化氮的超快气敏响应_王弘.caj

评级：0 浏览量：19 收藏量：0 资源大小：1.59MB 上传时间：2022-11-04

新型高灵敏长周期光纤光栅溶胶凝胶气敏传感器 通过在长周期光纤光栅包层外涂覆一层溶胶凝胶气敏薄膜, 设计了一种新型高灵敏光气敏传感器, 折射率分辩率高达10－8。研究了传感器灵敏度随薄膜参数与光栅参量的变化关系, 给出了高灵敏度所需的最佳参数设计范围。...

评级：0 浏览量：37 收藏量：0 资源大小：775KB 上传时间：2021-02-10

粉末溅射ZnO薄膜酒敏元件 (2007年) 针对金属氧化物薄膜气敏元件传统制造工艺中存在的掺杂不稳问题，开发了一种实用化的ZnO薄膜气敏基材料．采用粉末溅射法研制ZnO：1％ceO2薄膜，利用衬底Al2O3与ZnO晶体均为六方结构的特点，选择适当溅射参数研制出...

评级：0 浏览量：29 收藏量：0 资源大小：886KB 上传时间：2021-05-25

TiO2薄膜的半导体和气敏特性 (2007年) 溶胶-凝胶法制备了添加聚乙二醇和Al3+的TiO2薄膜，研究了...进而掺杂离子半径较小的Al3+，能够提高薄膜对CO的气敏性：在350℃时添加聚乙二醇且Al3+摩尔分数为5%、10%的薄膜对1.0×10-3（体积分数）CO的灵敏度分别为5.0

评级：0 浏览量：55 收藏量：0 资源大小：334KB 上传时间：2021-05-23

基于有机半导体TIPS-Pentacene晶态薄膜的超灵敏NO_2气体传感器.pdf 基于有机半导体TIPS-Pentacene晶态薄膜的超灵敏NO_2气体传感器.pdf

评级：0 浏览量：60 收藏量：0 资源大小：981KB 上传时间：2021-08-29

水热法制备石墨烯-WO3复合材料的气敏性能 水热法制备石墨烯-WO3复合材料的气敏性能

评级：0 浏览量：61 收藏量：0 资源大小：1024KB 上传时间：2021-03-03

ZnO薄膜制备及其有机蒸汽敏感特性分析 (2006年) 在对不同退火温度的ZnO薄膜的气敏特性进行测试后表明：较低的退火温度有利于提高器件气敏特性，其中经600℃退火的ZnO薄膜的灵敏度最高，其最佳工作温度为350℃，实验制备的ZnO薄膜对丙酮、汽油等有机蒸汽都有较高的...

评级：0 浏览量：45 收藏量：0 资源大小：802KB 上传时间：2021-05-16

红外气体传感器有什么特点？ 红外是一种基于不同气体分子的近红外...采用薄膜电容微音器作为传感使得仪器对震动十分敏感，因此不适合便携测量。 　红外气体传感器及仪器适用于监测各种易燃易爆、二氧化碳气体，具有精度高、选择性好、可靠性高、

评级：0 浏览量：176 收藏量：0 资源大小：35KB 上传时间：2021-01-19

聚苯胺/氧化铟复合薄膜QCM气体传感器* (2008年) 在10℃条件下，运用静电力自组装和原位化学氧化聚合相结合的方法制备了聚苯胺/氧化铟（PANi/In2O3）复合薄膜，并通过紫外-可见光光谱分析和扫描电镜（SEM）对薄膜进行了分析表征。采用AT-切型Ag电极石英晶体微天平...

评级：0 浏览量：65 收藏量：0 资源大小：156KB 上传时间：2021-04-25

氢键酸性聚合物气敏材料检测对象的拓展研究 氢键酸性聚合物气敏材料检测对象的拓展研究 ，杨潇，龙吟，根据线性溶剂化方程（LSER）理论，本文计算了苯乙烯（ST）、甲硫醚（DMS）、甲硫醇（MM）在13种聚合物薄膜上的分配系数，结果表明当�

评级：0 浏览量：69 收藏量：0 资源大小：328KB 上传时间：2020-02-03

聚乙烯吡咯烷酮改进TiO2薄膜的可见光增强氧敏特性* (2008年) 室温下工作的半导体气敏材料是一个有吸引力的研究方向。本文以钛酸四丁酯和乙醇胺为主要原料，用溶胶-凝胶法在氧化铝陶瓷片上制备了一种TiO2气敏膜。在可见光照射下，这种气敏膜在室温附近就有明显的可见光增强氧敏...

评级：0 浏览量：42 收藏量：0 资源大小：630KB 上传时间：2021-05-20

功能化单壁碳纳米管的气敏性研究 (2012年) 通过不同官能团功能化，在单壁碳纳米管(SWNTs)上连接不同基团并制成薄膜。采用恒定电位法，将它们暴露在NO2中，N2作为载气，不同温度下(30℃、50℃、70℃、90℃)检测电流随时间的变化情况(I-t图)。结果表明，随着...

评级：0 浏览量：48 收藏量：0 资源大小：1.06MB 上传时间：2021-04-25

掺Fe3+ TiO2 薄膜型氧气传感器研究 (2011年) 设计出了基于TiO2薄膜结构氧气传感器，通过硅工艺制作了Fe3+掺杂的TiO2薄膜型氧气传感器、并在400 ℃下对传感器的氧敏特性进行了测试。实验结果表明，该氧气传感器在高温条件下对氧气含量的变化有明显的响应，且具有...

评级：0 浏览量：58 收藏量：0 资源大小：798KB 上传时间：2021-05-12

SO 采用光度法以及椭圆偏振法测量技术对掺有贵金属或过渡金属元素的SnO2薄膜以及在不同PO2/PAr比条件下制备的VOx系列的薄膜进行了系统的光学气敏特性测试.比较了各种薄膜对SO2气体的光学气敏特性,发现在一定条件下制备...

评级：0 浏览量：64 收藏量：0 资源大小：180KB 上传时间：2021-02-11

MWCNT-WO3薄膜双声路SAW NO2气体传感器* (2008年) 以金属钨粉，H2O2，CH3OH和多壁碳纳米管（MWCNT）为原料，在双声路声表面波（SAW）器件的测量声路上制作了MWCNT-WO3薄膜，提出并实现了一种MWCNT-WO3薄膜双声路SAW NO2气体传感器。由于MWCNT和WO3对NO2气体都有敏感...

评级：0 浏览量：55 收藏量：0 资源大小：1.41MB 上传时间：2021-05-24

氧浓度对磁控溅射Ti/WO3薄膜光学性能的影响* (2009年) 用x射线衍射(XRD)、分光光度计、台阶仪等对薄膜的结构和光学性质进行表征，分析了不同氧浓度对气敏薄膜的透光率、微结构及光学带隙的影响。结果表明，氧浓度增大，沉积速率越慢，膜厚度减小，薄膜的平均晶粒尺寸增大...

评级：0 浏览量：61 收藏量：0 资源大小：1.62MB 上传时间：2021-05-24

微结构气敏传感器与电子鼻研究 结构气敏传感器是利用微电子、微机械加工和薄膜技术将加热测温电阻、测量 电极和敏感薄膜集成一体的新一代气敏元件，具有低功耗、易集成、 易智能化等优点。本文将有限元方法成功地应用于器件结构设计，· 列化 项...

评级：0 浏览量：89 收藏量：0 资源大小：2.77MB 上传时间：2010-07-10

表面等离子体激元共振溶胶-凝胶薄膜传感器 采用溶胶-凝胶金属氧化物半导体薄膜,作为表面等离子体激元共振效应的光化学传感器...选择SnO2薄膜及SiO2薄膜作为传感层与中间层,对三种气体NH3、C2H5OH、C3H8进行气敏实验,结果表明结构优化的传感器具有更高的灵敏度。

评级：0 浏览量：52 收藏量：0 资源大小：1.53MB 上传时间：2021-02-11

Sb∶SnO 因此Sb∶SnO2/SiO2纳米复合膜可作为气敏薄膜的理想选择。通过对三种不同的气体C3H8,C2H5OH及NH3气敏特性的测试表明,Sb掺杂大大提高了SnO2薄膜对C2H5OH的灵敏度,纳米Sb∶SnO2/SiO2复合膜的气敏灵敏度高于纯SnO2薄膜及...

评级：0 浏览量：59 收藏量：0 资源大小：710KB 上传时间：2021-03-05

镀有SiO2-WO3纳米复合薄膜LPFG气体传感特性研究* (2007年) 以钨粉和正硅酸乙酯为原料，采用溶胶-凝胶工艺和浸渍提拉镀膜方法，在玻璃衬底上制备出了具有气敏传感特性的 SiO2-WO3纳米复合薄膜．采用原子力显微镜和X射线衍射仪表征了薄膜样品的表面形貌和物相结构．实验结果...

评级：0 浏览量：56 收藏量：0 资源大小：2.27MB 上传时间：2021-05-24

用于气体检测的声表面波振荡电路设计 由于SAW 传感器具有尺寸小、价格低、精度高、灵敏度高及分辨率高等优点， 因此产生了由声表面波器件、敏感薄膜和相关检测电路组成的SAW 气体传感器。敏感薄膜在吸附气体的过程中， 被测气体导致的应力作用于声表面波...

评级：0 浏览量：68 收藏量：0 资源大小：379KB 上传时间：2021-01-19

基于还原氧化石墨烯聚（3-己基噻吩）双层薄膜的薄膜晶体管气体传感器用于二氧化氮检测 具有RGO / P3HT双层膜的OTFT在室温下表现出典型的晶体管特性和更好的气敏特性。 计算了基于纯P3HT薄膜和RGO / P3HT双层薄膜的OTFT的电学参数。 由于RGO中的高浓度载流子，OTFT的阈值电压正向偏移。 还研究了带有RGO...

评级：0 浏览量：53 收藏量：0 资源大小：1.94MB 上传时间：2021-04-05

Fe2O3-In2O2复合薄膜光波导传感元件检测二甲苯气体的研究* (2013年) 采用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备出氧化铁-氧化铟复合材料，利用提拉法将复合材料固定在锡掺杂玻璃光波导表磷研究出能够检测二甲苯气体的Fe2O3-In2O3复合薄膜／锡掺杂玻璃光波导气敏元件。将气敏元件固定在气体检测系统...

评级：0 浏览量：34 收藏量：0 资源大小：467KB 上传时间：2021-05-12

气体传感器PPT学习教案.pptx ZnO 气敏元件和 WO3 气敏元件也都是电阻型气体传感器，它们的工作原理和 SnO2 相似，有烧结型、厚膜型、薄膜型等多种工艺。 非电阻型半导体气敏器件是另一种气体传感器，它利用气体改变二极管的整流特性来检测气体...

评级：0 浏览量：53 收藏量：0 资源大小：536KB 上传时间：2021-10-08