传感技术中的基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计

传感技术中的基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计 硅微加速度传感器是。MEMS器件中的一个重要分支，具有十分...　压阻式加速度传感器是最早开发的硅微加速度传感器，弹性元件的结构形式一般均采用微机械加工技术形成硅梁外加质量块的形式，利用压阻效应来检测加速度。在

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基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计 文中以双端固支式硅微加速度传感器为研究对象，借助Aasys软件对其性能进行仿真分析，从而选出性能优良的结构形式。

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传感技术中的微机械传感器 目前，全世界有大约６００余家单位从事ＭＥＭＳ的研制和生产工作，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中微传感器占相当大的比例。微传感器是采用微电子和...

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传感技术中的利用差频电路实现微电容式传感器检测电路的温漂抑制 　电容式传感器是将被测的非电量变化转换为电容量变化的一类传感器，由于它具有灵敏度高、功耗低、温度漂移小等优点，因此广泛应用在压力、湿度、温度和加速度等测量中。MEMS(微电子机械系统)传感器体积小的特点决定...

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传感技术中的MSI推出新产品MSP610—— 一款高精度不锈钢压力传感器 其通过运用集成电路(ASIC)和微处理(三维技术加工硅片)、MEMS(微电子机械系统)、电容、感应、微机械压电电阻等多种传感技术，可有效地对距离、运动、液面高度、力、位移、角度和压力的测量提供解决方案。该公司产品现...

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用MEMS加速度计作为拾音器实现乐器音效完美再现 MEMS1 (微机电系统)利用专为半导体集成电路所开发的制造工艺设施实现生产制造。微机电结构的实现方法是通过在半导体基片上刻蚀特定...而MEMS加速度计则用于安全气囊、翻滚检测以及汽车报警系统，时间也已超过15年之久。

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用于智能汽车的高性能MEMS传感器 微机电系统（MEMS）技术是通过使用先进的微制造技术将机械器件、传感器和电子组件部署在单个硅基板上而实现。如今，这些技术已经逐渐取代了汽车市场各种车型使用的大部分传感装置，并带来系统在降低成本、持续可靠性...

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1物联网传感技术(PPT52页).ppt 常用的传感器有温度传感器、光传感器、压力传感器、位移传感器、速度传感器、加速度传感器等。 MEMS（微电机系统）和MOEMS（微光机电系统）技术将成为物联网的技术核心，使无线传感网、光网快速加入物联网的应用...

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MEMS器件在低成本微惯性导航系统的应用 MEMS技术的发展开辟了一个全新...目前MEMS市场的主导产品为压力传感器、加速度计、微陀螺仪、墨水喷咀和硬盘驱动头等。大多数工业观察家预测，未来5年MEMS器件的销售额将呈迅速增长之势，年平均增加率约为18%,因此对对

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意法半导体的传感器产品和技术解决方案 继续我们的系列研究传感器领域的主要参与者，在本文中，我们将仔细研究半导体公司意法半导体提供的传感器产品和技术。该公司称自己为世界MEMS制造商，成功开发了微电子应用领域的半导体解决方案。 ST提供智能传感器...

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MEMS传感器讲述PPT学习教案.pptx 压阻式加速度传感器有两个很严重的缺点：温度效应严重；灵敏度较低，一般只能到1mg（即）。通过温度控制电路可以对温度效应进行补偿，但提高灵敏度方面难度很大。 电容式MEMS加速度计的工作原理为：当加速度输入使...

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MEMS惯性器件发展及趋势 MEMS技术最早由Richard Pfeynman(1965年获得诺贝尔物理奖)，在1959... 惯性传感器包括加速度计(或加速度传感计)和角速度传感器(陀螺)以及它们的单、双、三轴组合IMU(惯性测量单元)，AHRS(包括磁传感器的姿态参考系统)。

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