0引言
电容式传感器是将被测的非电量变化转换为电容量变化的一类传感器，由于它具有灵敏度高、功耗低、温度漂移小等优点，因此广泛应用在压力、湿度、温度和加速度等测量中。MEMS(微电子机械系统)传感器体积小的特点决定了敏感电容器的电容值不可能大，一般为pF量级，而由这些物理量引起的微电容的变化更加微小，一般为fF甚至aF量级。如此小的变化量对检测电路的设计是一个挑战。传统的用分立元件搭制检测电路的方法将无法适应传感器电容不断减小的趋势，因此设计匹配的接口集成电路是十分必要的。常用的低值电容测量电路都是把电容的变化转变为电压或频率。目前大多数国外MEMS传感器厂家采用开关电容电路作为电容信号的
