多光子光刻

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多光子光刻

: 光子晶体简介还介绍了一些光子晶体的制作方法和应用前景，光子晶体的制备方法很多，这里简单介绍了半导体产业加工技术、钻孔法、嵌段聚合物自组法、单分散的颗粒堆积法、亚微米尺度上的三维全息光刻。光子晶体有着良好的应用前景...
评级：0 浏览量：270 收藏量：1 资源大小：124KB 上传时间：2020-12-09

: Multiphoton lithography : techniques, materials and applications Nanotechnology has great potential in manufacturing, manipulating, observing, and functioning of materials, and understanding the physics and chemistry at the nanoscale, but it is limited to surface ...
评级：0 浏览量：120 收藏量：0 资源大小：17.92MB 上传时间：2019-02-09

: 全息光刻可以制造三维光子晶体全息光刻可以制造三维光子晶体
评级：0 浏览量：67 收藏量：0 资源大小：664KB 上传时间：2021-02-11

: 全息光刻制造光子晶体带隙的优化全息光刻制造光子晶体带隙的优化
评级：0 浏览量：53 收藏量：0 资源大小：64KB 上传时间：2021-02-24

: 全息光刻形成的蜂窝晶格光子晶体的反常折射效应全息光刻形成的蜂窝晶格光子晶体的反常折射效应
评级：0 浏览量：47 收藏量：0 资源大小：603KB 上传时间：2021-02-23

: 全息光刻形成的二维光子晶体的左手特性全息光刻形成的二维光子晶体的左手特性
评级：0 浏览量：38 收藏量：0 资源大小：77KB 上传时间：2021-02-23

: 圆柱状二维光子晶体的制备：全息光刻Craft.io的双重发展已经报道了通过使用双重显影的全息光刻技术来制造柱状二维光子晶体的简单且成本有效的方法。在该过程中，直接在正性光刻胶上生成了二维大点型周期性结构，然后通过Si3N4硬掩模将其转移到基板上。通过使用二次显影...
评级：0 浏览量：59 收藏量：0 资源大小：1.56MB 上传时间：2021-03-04

: 光子筛成像技术研究进展光子筛是一种新型的纳米成像元件，具有高分辨、质量轻、体积小及易复制的优点，对于成像系统轻量化以及极短...指出光子筛实用化面临的其他客观存在的问题，并展望了光子筛在天文望远镜、显微镜和光刻等领域的应用前景。
评级：0 浏览量：87 收藏量：0 资源大小：2.03MB 上传时间：2021-02-09

: 一步全息光刻技术制备具有周期性缺陷的大面积光子晶体一步全息光刻技术制备具有周期性缺陷的大面积光子晶体
评级：0 浏览量：48 收藏量：0 资源大小：1.62MB 上传时间：2021-03-20

: 显示/光电技术中的波导SOl光刻工艺特点而若制作光子线或光子晶体波导则需采用极紫外光刻机（一般波长为248 nm或193 nm），这时光学临近效应就显得重要了，通常需要较复杂的补偿技术。　对于以干涉为基础的波导器件来说，波导条宽的准确度至关重要，这...
评级：0 浏览量：94 收藏量：0 资源大小：42KB 上传时间：2020-11-13

: 纳米球形透镜光刻图案化的底部和顶部光子晶体InGaN / GaN发光二极管的效率改善和下垂行为纳米球形透镜光刻图案化的底部和顶部光子晶体InGaN / GaN发光二极管的效率改善和下垂行为
评级：0 浏览量：50 收藏量：0 资源大小：584KB 上传时间：2021-03-03

: 表面等离激元体干涉制备纳米光子晶体的模拟分析利用表面等离激元短波长和近场增强效应的特性,用多束p偏振态相干光激发表面等离激元(SPPs),并优化干涉光刻的曝光参数,可获得高分辨率、高对比度周期性纳米结构。阐述了多束SPPs干涉法制备纳米光子晶体的原理,并得到...
评级：0 浏览量：71 收藏量：0 资源大小：37KB 上传时间：2021-02-24

: 斐波那契光子筛的聚焦成像特性应用斐波那契数列,提出了一种双焦点...由于斐波那契光子筛体积小、重量轻、设计灵活,而且具有多焦性,可以用于光学开关、纳米光刻、生物仿生眼、多焦成像和测距,甚至在X 射线显微技术和太赫兹成像技术都将有新的应用.
评级：0 浏览量：55 收藏量：0 资源大小：4.29MB 上传时间：2021-02-24

: 双光子吸收染料HMASPS上转换及非线性吸收性能的研究从实验上研究了一种染料trans-4-[p-(N-hydroxyethyl-N- methyl amino) styryl]-N-methylpyridinium p-toluene sulfonate(简称HMASPS)双光子抽运的频率上转换及双光子吸收引起的非线性吸收情况.当抽运功率密度超过...
评级：0 浏览量：70 收藏量：0 资源大小：113KB 上传时间：2021-02-11

: 硅光子计数探测器推动新一代成像技术在纳米压印光刻技术中，重复使用一个模版大批量的压印预定形状的晶圆。在终的沉积工序之后，晶圆既可以依尺寸切成方块，也可以再利用压印技术制备其它的功能层。　以前，光子计数器建立在三种不同技术平台上。...
评级：0 浏览量：84 收藏量：0 资源大小：147KB 上传时间：2021-01-20

: 二维空气环型光子晶体的负折射现象采用平面波展开法和时域有限差分法研究了二维空气环型光子晶体的负折射现象。通过平面波法计算了三角晶格空气...在实验室采用X光刻蚀方法制作空气环型光子晶体能够节省大量的刻蚀时间, 进而降低光子晶体的制作成本。
评级：0 浏览量：53 收藏量：0 资源大小：2.43MB 上传时间：2021-02-10

: 基于聚合物光子光波电路的ROADM模块的单片多功能集成一个透明的可重配置光分插复用器（ROADM）模块，由基于AWG的波长通道选择器与Mach-Zehnder干涉仪（MZI）热光（TO）波导开关阵列和阵列波导实时延时（TTD）单片集成线是使用聚合物光子光波电路技术设计和制造的。...
评级：0 浏览量：50 收藏量：0 资源大小：2.71MB 上传时间：2021-04-07

: 突破光学衍射极限，发展纳米光学和光子学信息技术已经进入纳米时代，纳米光学和光子学正是为满足...在光的远场和近场应用超分辨率技术，是当前重要的前沿课题，它们的应用主要集中于信息技术领域，具有代表性的是纳米信息存储和光刻中的光学超分辨率技术等。
评级：0 浏览量：108 收藏量：0 资源大小：3.86MB 上传时间：2021-02-03

: 一种适用于数字微镜无掩模光刻的图形拼接方法图形曝光前，需要将曝光图形分割为多帧大小为1024 pixel×768 pixel的多个子图形，然后每个子图形与对应模板相乘，实现曝光子图形的预处理。基于数字微镜(DMD)对灰度图形的调制原理，设计了可行的边界灰度调制模板。...
评级：0 浏览量：87 收藏量：0 资源大小：3.06MB 上传时间：2021-02-09

: 基于矢量衍射理论的振幅型光子筛设计与分析光子筛作为一种新兴的纳米成像器件,具有分辨力高、体积小、重量轻、易复制等优点,被广泛地应用到纳米光刻、大型天文望远镜、航空航天摄像等领域。为了追求高分辨力,须将光子筛的小孔直径做得非常小,但当光子筛的小孔...
评级：0 浏览量：147 收藏量：0 资源大小：1.77MB 上传时间：2021-02-10

: 电子测量中的硅光子计数探测器推动新一代成像技术在纳米压印光刻技术中，重复使用一个模版大批量的压印预定形状的晶圆。在最终的沉积工序之后，晶圆既可以依尺寸切成方块，也可以再利用压印技术制备其它的功能层。　以前，光子计数器建立在三种不同技术平台上。...
评级：0 浏览量：177 收藏量：0 资源大小：132KB 上传时间：2020-11-12

: 论文研究-双光子加工数据准备软件的研究.pdf 双光子加工技术需要通过数据准备软件将CAD模型转换为加工数据。为此提出了三种进行双光子加工的数据准备方法，即STL处理、图片处理和线条处理；基于MFC的单文档/视图结构框架开发了软件。应用实例表明，该软件界面...
评级：0 浏览量：113 收藏量：0 资源大小：209KB 上传时间：2019-07-22

: 广义Luneburg透镜形成的可调谐光子纳米射流。在各种光子学应用中，Nanojet已经成为一个有趣的话题。在本文中，受通用Luneburg透镜（GLLs）... 对于许多有希望的应用，例如高分辨率光学检测，光学操纵，直接写入纳米图案化和纳米光刻技术，这可能是令人感兴趣的。
评级：0 浏览量：80 收藏量：0 资源大小：1.41MB 上传时间：2021-03-17

: 无掩模表面等离子激元干涉光刻采用表面等离子激元近场增强技术可改善纳米干涉光刻成像质量, 有效实现微纳米结构快速、高效、低成本制作, 在传统微细加工技术较难发挥作用的一些纳米光子器件加工领域有很好应用前景。
评级：0 浏览量：32 收藏量：0 资源大小：689KB 上传时间：2021-02-10

: PICwriter:易于实现的光子集成电路 (PIC) 组件库，用于快速 GDSII 掩模布局和设计对准标记（用于光刻和电子束光刻）金属路线焊盘请继续关注，更多组件即将推出！同时，请在查看此项目的文档。特征该模块的最终目标是通过扩展 gdspy 库的功能来减少生成光子集成电路掩模设计所需的时间。 ...
评级：0 浏览量：348 收藏量：0 资源大小：2.49MB 上传时间：2021-05-30

: 飞秒激光在铽镓石榴石中的光刻光波导飞秒激光光刻是一种灵活的三维光子器件制作方法。由于铽镓石榴石具有法拉第效应，具有广泛的应用，利用中心波长为800 nm，重复频率为1 kHz的飞秒激光，在磁致旋光晶体铽镓石榴石中刻写了双线型和压低圆包层两种光波...
评级：0 浏览量：73 收藏量：0 资源大小：2.16MB 上传时间：2021-02-05

: photontorch:基于深度学习框架PyTorch的光子电路在时域和频域的高度并行仿真和优化光子炬 Photontorch是一种光子模拟器，用于在时域和频域中高度并行地模拟和优化光子电路。光子炬具有CUDA功能，可对光子电路进行仿真和优化。它利用深度学习框架PyTorch将光子电路视为本质上是递归神经网络。这...
评级：0 浏览量：140 收藏量：1 资源大小：318KB 上传时间：2021-05-22

: 应用于光子集成的硅基混合集成人工微结构硅波导输出激光器研究目前，硅光子集成在光通信和信号处理、微电子系统的片内和片间...激光器模式选择机制是基于SOI 中的周期微结构，仅通过标准光刻即可实现。微结构激光器室温连续输出为0.85 mW，脉冲输出为3.5 mW，边模抑制比为25 dB。
评级：0 浏览量：73 收藏量：0 资源大小：7.74MB 上传时间：2021-02-05

: 绝缘体上硅片上制造的超紧凑型气Kong光子晶体环形谐振器的实验演示通过使用电子束光刻和感应耦合等离子体蚀刻，在绝缘体上硅晶片上制造了气Kong阵列的光子晶体环形谐振器（PCRR）。对设计的PCRR进行建模，并通过二维有限差分时域方法模拟其性能。仿真结果表明，PCRR具有两个共振...
评级：0 浏览量：45 收藏量：0 资源大小：520KB 上传时间：2021-03-16

: SiEPIC-Tools:KLayout的软件包，用于添加集成的光学硅光子学功能（波导，网表提取，电路仿真等）可以通过电子束光刻进行制造，包括制造。引用这项工作： Lukas Chrostowski，Lu Zeqin Lu，Jonas Flueckiger，Xu Wang，Jackson Klein，Amy Liu，Jaspreet Jhoja，James Pond，“”，Proc.Natl.Acad.Sci.USA，88：...
评级：5 浏览量：775 收藏量：2 资源大小：73.97MB 上传时间：2021-05-15

: 共振吸收波导阵列的原理、特性、制备与应用光子晶体、量子光学、超快光学与微纳光学的发展，使得操控光子的发射与传输特性成为可能。综述了具有复折射率周期性调制的共振吸收光子晶格，并着重介绍了共振吸收波导阵列的原理、光学特性、样品制备与应用。
评级：0 浏览量：50 收藏量：0 资源大小：2.43MB 上传时间：2021-02-09

: InP基16通道200 GHz 阵列波导光栅的设计和制备设计制作了一种适合单片光子集成回路的InP基16通道，200 GHz通道间隔的阵列波导光栅（AWG）器件。采用偏振无关的深脊型波导以减小器件尺寸，提高光电子芯片的集成度。利用金属有机化学气相沉积（MOCVD），光刻及感应...
评级：0 浏览量：56 收藏量：0 资源大小：4.38MB 上传时间：2021-02-12

: 基于SPPs-CDEW混合模式的亚波长单缝多凹槽结构全光二极管全光二极管是集成光子回路上最基本的光子器件, 如何有效增强全光二极管的单向透射性, 提高消光比一直是学者们研究的重点. 当前, 利用表面等离极化激元 (surface plasmon ...率光刻等相关领域具有潜在的应用价值.
评级：0 浏览量：45 收藏量：0 资源大小：2.37MB 上传时间：2021-04-06

: 一种基于深刻蚀的硅基周期波导微腔研究了一种基于深刻蚀的硅基周期波导一维光子晶体微腔，采用时域有限差分(FDTD)方法对设计的微腔结构进行了模拟分析；讨论了深刻蚀对微腔品质因数的影响，计算表明采用深刻蚀可有效地保持高Q 值并能保证微腔的机械...
评级：0 浏览量：83 收藏量：0 资源大小：2.52MB 上传时间：2021-02-13

: 微纳金属光学结构制备技术及应用针对微纳光子学器件复杂图形开发了微光刻数据处理体系，基于矢量扫描电子束光刻设备在自支撑薄膜上进行1×高分辨率图形形成，利用X射线光刻进行高高宽比微纳图形复制，再利用低成本接近式光学光刻技术进行金属加强筋...
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: 极紫外光学元件表面碳污染模型的建立为有效评估和预测在极紫外光辐照下，极紫外光刻机中残留的碳氢化合物气体在多层膜光学元件表面造成的碳污染状况，建立了光学元件表面碳沉积的复杂理论模型，描述了残留碳氢化合物在光学表面的传输，在极紫外光子和二...
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: 半导体微碟激光器设计原理与工艺制作用经典量子电动力学理论初步研究了半导体碟型微腔激光器的设计原理,采用光刻、反应离子刻蚀和选择化学腐蚀等现代微加工技术制备出抽运阈值功率很低且品质因数很高的低温光抽运InGaAs/InGaAsP多量子阱微碟激光器....
评级：0 浏览量：56 收藏量：0 资源大小：160KB 上传时间：2021-02-11

: 基于氟化镁-氧化铝的紫外光波导器件的研究基于氟化镁-氧化铝的紫外光波导器件的研究，胡陶陶，张霞，光子集成,以其可实现光学系统的微型化和集成化的特点，在信息处理、传感技术等领域展现了广泛而优秀的应用前景。而近年来紫外波�
评级：0 浏览量：578 收藏量：0 资源大小：925KB 上传时间：2020-03-13

: 基于超表面的可见光波段布拉格反射波导研究 8光刻胶制备的中心腔, 构成传统的布拉格反射波导(BRW), 利用传输矩阵法分析了可见光在分布式布拉格反射镜和布拉格反射波导中的传输情况, 并研究了介质折射率比、厚度和周期数等各因素对布拉格反射镜的影响以及SU-8的...
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: 阵列波导光栅解复用器的偏振相关损耗的优化利用化学气相沉积、光刻和刻蚀等半导体工艺制备了AWG DEMUX芯片,并结合理论分析对包层材料中的硼(B)、磷(P)含量进行了优化调整,成功地将芯片的PDL降低至0.12 dB,使PDL参数满足芯片的商用化需求。
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: matlab集成c代码-gdsii-toolbox:用于GDSII流格式的Octave和MATLAB工具箱当布局是数值建模的结果时（例如，对于纳米结构的光学器件，光子器件或微流体器件而言，通常如此），该工具箱特别有用。 MATLAB或Octave是高效的工具，可用于对建模结果进行后处理并创建光刻版图，作为制造过程的...
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: 微细光成形和LIGA工艺集成的可行性分析 (2006年) 对单光子和双光子微细光成形技术的成形原理、加工分辨能力进行分析和实验研究，将其与微细电铸等工艺集成，提出一种能实现真三维制造的、具有不同应用材料的微细加工新方法，并从原理上验证了两者集成的可行性，为...
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: 波导SOl刻蚀工艺特点　对于SOl波导（尤其是矩形单模波导）或者光子晶体的制作来说，由于其波导尺寸极小（波长量级），在波导壁也具有较多光场分布，这时刻蚀工艺对波导传输损耗的影响就相当大了，所以这种小尺寸波导的刻蚀工艺需要严格...
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