绝缘体上硅片上制造的超紧凑型气Kong光子晶体环形谐振器的实验演示

通过使用电子束光刻和感应耦合等离子体蚀刻，在绝缘体上硅晶片上制造了气Kong阵列的光子晶体环形谐振器（PCRR）。 对设计的PCRR进行建模，并通过二维有限差分时域方法模拟其性能。 仿真结果表明，PCRR具有两个共振波长，分别为1598和1606 nm，其相应的品质因数分别为3994和4015。 PCRR结构的样品是通过建立的实验装置制造和测试的。 与仿真结果相比，实验谐振波长出现了一定程度的漂移，并且品质因数降低了大约一个数量级。 制造误差和不规则性是产生上述结果的主要原因，可以通过改进Craft.io技术来进一步减少。 此外，PCRR样品出现了另一个共振波长，这可以归因于耦合强度的变化。