表面机械研磨

表面机械研磨诱导纯铝表层纳米化 (2008年) 对纯铝(高层能金属)进行表面机械研磨处理(SMAT)，在试样表面形成纳米层。利用透射电子显微镜(TEM)对表面层的微观结构进行了表征。实验结果表明，晶粒细化的主要微观特征为：在原始晶粒和细化晶粒内部形成位错缠结...

评级：0 浏览量：47 收藏量：0 资源大小：267KB 上传时间：2021-05-21

低碳钢表面机械研磨处理过程的有限元分析 (2008年) 运用有限元分析方法,对低碳钢表面机械研磨处理（SMAT）过程进行了数值模拟,分析计算了材料表面层的应力和应变分布情况,初步探讨了应变量和应变速率对材料塑性变形机制的影响。结果表明,经SMAT后样品表面发生了明显的...

评级：0 浏览量：34 收藏量：0 资源大小：2.75MB 上传时间：2021-05-20

纯铁表面机械研磨Fe-Ni合金化方法的研究 (2009年) 纯铁表面采用高能喷丸机械研磨处理,并在样品罐中添加...界面微观研究表明,表面机械研磨时存在显著的原子扩散,可以在金属表面获得一定厚度的合金层,适当的热处理会进一步增强合金化程度,是一种新的金属表面合金化方法。

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时效时间对表面机械研磨处理Cu-4.5Ti合金组织和硬度的影响.docx 时效时间对表面机械研磨处理Cu-4.5Ti合金组织和硬度的影响.docx

评级：0 浏览量：34 收藏量：0 资源大小：397KB 上传时间：2021-09-13

论文研究-化学机械研磨对硅片表面Haze值的影响 .pdf 化学机械研磨对硅片表面Haze值的影响，林佳佳，，化学机械研磨是当今唯一能够提供全局平坦化的技术，其抛光机理的研究是当前的热点。硅片表面Haze值是描述硅片表面粗糙度的一个重��

评级：0 浏览量：176 收藏量：0 资源大小：359KB 上传时间：2019-08-15

单晶金刚石晶体的机械研磨 (2005年) 首先从理论上分析了单晶金刚石晶体在机械研磨过程中表层材料发生塑性变形的临界条件，并利用原子力显微镜对研磨后的（110）晶面和（100）晶面进行观测，发现两个晶面沿易磨方向和难磨方向研磨时的研磨表面都存在塑性...

评级：0 浏览量：51 收藏量：0 资源大小：2.54MB 上传时间：2021-05-17

化学机械抛光技术与蓝宝石研磨液 "化学机械抛光技术与蓝宝石研磨液" 化学机械抛光技术是半导体抛光技术的一种，结合了化学和机械抛光的优势，通过化学反应和机械磨削相互作用，获得了较高的抛光速率和表面光洁度。该技术可以应用于半导体材料的研磨...

评级：0 浏览量：80 收藏量：0 资源大小：25KB 上传时间：2021-01-29

化学机械研抛光技术(CMP) 化学机械研磨技术（化学机械抛光， CMP）兼具有研磨性物质的机械式研磨与酸碱溶液的化学式研磨两种作用，可以使晶圆表面达到全面性的平坦化，以利后续薄膜沉积之进行。 在CMP制程的硬设备中，研磨头被用来将晶圆压在...

评级：0 浏览量：810 收藏量：0 资源大小：27KB 上传时间：2020-12-09

Q235表面纳米化后耐蚀性研究 利用表面机械研磨技术,在高频率(20kHz)小弹丸(直径4mm)和低频率(50 Hz)大弹丸(直径8mm)两种组合作用下,实现了Q235钢的表面自纳米化,得到晶粒尺寸相同的纳米表面;分析了纳米化前后试样在H2SO4(0.05mol/L)+Na2SO4(0.05...

评级：0 浏览量：70 收藏量：0 资源大小：906KB 上传时间：2020-06-20

钛合金滤筒的研磨抛光实践 以钛合金滤筒外圆表面抛光过程为研究内容,通过分析钛合金滤筒表面质量对使用性能的影响以及钛合金常用的抛光方法,采用先金相砂纸干研磨再结合抛光轮添加抛光皂的机械抛光工艺,研磨能快速清除零件表面的毛刺、凹坑、...

评级：0 浏览量：105 收藏量：0 资源大小：438KB 上传时间：2020-06-04

微波等离子刻蚀CVD金刚石膜提高机械研磨效率 (2005年) 针对低温低压化学气相沉积(CVD)金刚石膜表面粗糙且厚薄不均,普通的方法抛光金刚石膜效率低的现象,采用空气等离子刻蚀金刚石膜与机械研磨相结合的抛光工艺,提高了金刚石膜的抛光加工效率。并与纯机械研磨法比较,通过...

评级：0 浏览量：61 收藏量：0 资源大小：1.21MB 上传时间：2021-06-01

机械设计制造及其自动化专业(设计)高速平面研磨机机械结构设计-毕设论文.doc 机械设计制造及其自动化专业高速平面研磨机机械结构设计 本文主要介绍了高速研磨技术的设计和实现，旨在提高研磨加工精度和加工质量，降低...关键词：高速研磨机、机械结构设计、固着磨料高速研磨、工件表面性能分析。

评级：0 浏览量：24 收藏量：0 资源大小：3.24MB 上传时间：2023-06-28

行业分类-设备装置-化学机械研磨用浆料组合物、利用它的半导体元件的表面平坦化方法以及浆料组合物的选择比... 行业分类-设备装置-化学机械研磨用浆料组合物、利用它的半导体元件的表面平坦化方法以及浆料组合物的选择比控制方法

评级：0 浏览量：25 收藏量：0 资源大小：1.22MB 上传时间：2021-09-12

跑合与研磨表面的形貌及其润滑效应 (1990年) 研究了磨削加工、磨削表面经过跑合后和机械研磨后的表面形貌特征、固体接触特性、润滑效应及摩擦特性。结果得出跑合和研磨不仅降低了表面粗糙度而且磨去了表面轮廓上的尖峰使表面形貌分布发生偏斜，两者都对减少固体...

评级：0 浏览量：64 收藏量：0 资源大小：333KB 上传时间：2021-04-26

固结磨料研磨抛光K9光学玻璃研究_机械工程专业论文范文模板、范本.pdf 然后，作者研究了研磨工艺参数对材料去除率和表面质量的影响，并通过合理的选择主轴转速、研磨压力、偏心距和磨粒粒度工艺参数，进行正交试验参数优化，系统分析了各参数对研磨效果的影响。 此外，作者还开展了固结...

评级：0 浏览量：19 收藏量：0 资源大小：5.17MB 上传时间：2023-06-13

研磨技术解析PPT学习教案.pptx 所以研磨加工是机械、化学联合作用完成的精密加工。 研磨技术的基本要素包括零件与研磨工具的相对运动、研磨压力、研磨速度和研磨时间。 零件与研磨工具的相对运动是研磨技术的关键要素，零件与研磨工具不受外力的...

评级：0 浏览量：26 收藏量：0 资源大小：136KB 上传时间：2021-10-03

运用研磨和化学机械抛光技术制备高品质的石英薄膜* (2013年) 由于石英属于高硬度材料，选用金刚石研磨液和球墨铸铁研磨盘对石英衬底进行研磨，以获得较高的研磨速率和较好的研磨后的表面粗糙度。在石英CMP中，采用特殊的“两步抛“工艺，对衬底进行抛光。第一步粗抛抛光液采用...

评级：0 浏览量：41 收藏量：0 资源大小：472KB 上传时间：2021-05-10

初始制备状态对 Ni3Al 表面纳米结构组织的影响 (2011年) 采用表面机械研磨技术在定向凝固态和铸造态 Ni3Al 表面制备纳米结构表层,采用扫描电镜、XRD 和 TEM等对纳米结构表层的组织特征进行研究,探讨定向凝固和铸造两种制备状态对Ni3Al表面纳米结构组织特征的影响。...

评级：0 浏览量：125 收藏量：0 资源大小：1.2MB 上传时间：2021-04-26

冷轧IF钢表面纳米化后的组织与性能 (2006年) 结果表明：(1)表面机械研磨处理后，冷轧(CR)IF钢表面形成了平均晶粒尺寸为7～9nm、晶粒取向呈随机分布的纳米晶组织；(2)表面层附近的硬度显著提高；(3)纳米表层的存在使得材料强化的同时成形极限也得到提高．

评级：0 浏览量：27 收藏量：0 资源大小：366KB 上传时间：2021-05-12

机械设计毕业论文正稿.doc 改善表面物理机械性能的加工方法可以通过超精密加工、珩磨、研磨等方法来实现。这些方法可以改善工件表面的物理机械性能，从而提高机械加工表面的质量。 提高机械加工表面质量需要对影响机械加工表面质量的因素进行...

评级：0 浏览量：52 收藏量：0 资源大小：67KB 上传时间：2021-10-21

3%无取向硅钢薄板的表面纳米化结构与性能 (2012年) 为了探索金属薄板表面纳米化制备方法,本工作选取3%无取向硅钢热轧板进行表面机械研磨处理(SMAT)和异步轧制(CSR),研究深度方向结构和硬度的变化。结果表明:SMAT过程中,3%无取向硅钢通过位错的演变,在表面形成了等轴状...

评级：0 浏览量：64 收藏量：0 资源大小：269KB 上传时间：2021-06-14

表面纳米化对β型钛合金耐腐蚀性能的影响 (2014年) 采用表面机械研磨处理（SMAT）方法对医用β型TiNbZrFe合金表面处理60 min，研究表面纳米化对TiNbZrFe合金在生理环境下耐腐蚀性能的影响。采用TEM观察表层纳米晶微观结构特征，采用电化学方法研究表面为粗晶与纳米晶...

评级：0 浏览量：35 收藏量：0 资源大小：256KB 上传时间：2021-04-22

机械加工工艺基础知识.pptx 机械加工工艺是指通过刀具对金属材料进行切削、研磨、钻孔、镗孔、车削等加工操作，以取得所需的尺寸、形状和表面质量的过程。机械加工工艺是制造业的基础，广泛应用于机械制造、汽车制造、航空航天、船舶制造等领域...

评级：0 浏览量：84 收藏量：0 资源大小：654KB 上传时间：2021-10-04

微观摩擦与表面形貌相关性的试验研究 (2005年) 针对微机电系统存在的问题，阐述了微摩擦的测试方法以及表面形貌对微机械中摩擦性能的影响，试验研究了表面形貌对介于宏观和微观之间摩擦行为的影响。试验用研磨的方法在硅片表面制作了不同宽度的条纹，通过UMT微...

评级：0 浏览量：69 收藏量：0 资源大小：3.09MB 上传时间：2021-05-06

机械加工工艺基础培训课件.pptx 机械加工工艺过程是指对金属材料进行切削、研磨、钻探、铣削等加工方法，以达到所需的尺寸、形状和表面质量的工艺过程。在机械加工工艺过程中，切削过程是最基本的加工方法之一。 二、切削过程的种类 切削过程可以...

评级：0 浏览量：60 收藏量：0 资源大小：941KB 上传时间：2021-10-03

双步激光辐射提升纳秒激光抛光单晶硅的表面.docx "双步激光辐射提升纳秒激光抛光单晶...为了修复研磨引起的亚表面损伤，Niitsu等使用纳秒脉冲激光进行表面缺陷修复，并获得了良好的结果。双步激光辐射提升纳秒激光抛光单晶硅的表面具有非常重要的应用价值和发展前景。

评级：0 浏览量：35 收藏量：0 资源大小：1.75MB 上传时间：2023-02-23

机械制造技术基础期末复习资料(机械0821)※内部使用※.doc 外圆表面的光整加工可以通过研磨和超精加工实现。孔加工可以分为钻孔和扩孔两种方式。钻孔是在实心材料上加工的第一道工序，钻孔直径一般小于 80mm。扩孔是用扩孔钻对已经钻出、铸出或锻出的孔作进一步加工以扩大...

评级：0 浏览量：41 收藏量：0 资源大小：10.59MB 上传时间：2023-06-24

氮化硅陶瓷球化学机械抛光机理的研究 (2010年) 采用X射线衍射技术分析了水基CeO2磨料抛光氮化硅陶瓷球后工件表面的化学反应生成物，对化学机械抛光的热力学分析进行了验证，分析了其化学机械作用过程。结果表明，CeO2是抛光氮化硅陶瓷球非常有效的一种磨料，利用...

评级：0 浏览量：65 收藏量：0 资源大小：407KB 上传时间：2021-05-16

研磨条件对陶瓷喷墨墨水分散性的影响研究 (2013年) 采用机械分散法制备了钴蓝陶瓷喷墨墨水，在固定油墨配方的条件下，考察了研磨珠的大小以及研磨时间对油墨分散性的影响，实验结果表明：当固含量为30％，纳米砂磨机的转速为2 086转／分，研磨珠的大小为0．6～0．8 mm...

评级：0 浏览量：42 收藏量：0 资源大小：247KB 上传时间：2021-05-14

开链机械手持重的计算 (1989年) 作者利用这一特点研制了挤压研磨用研磨剂配方,利用模拟装置研宪了工艺参数时加工表面质量的影响、设计了利用工厂油压机来进行挤压研磨加工用的专用设备,为解决机车朵油机中副连杆销进出油孔的光整加工和倒棱工艺提供...

评级：0 浏览量：34 收藏量：0 资源大小：28KB 上传时间：2021-04-25

氧化铝对单晶硅表面的纳米磨损研究 氧化铝对单晶硅表面的纳米磨损研究，肖晨，刘潇枭，氧化铝材料具有较长的使用寿命，是优良的单晶硅抛光研磨颗粒材料；研究其对单晶硅表面的磨损行为，对氧化铝/硅化学机械抛光体系�

评级：0 浏览量：90 收藏量：0 资源大小：705KB 上传时间：2019-12-27

半导体专业用语.pdf * Chemical Mechanical Polishing（CMP）：化学机械研磨技术，用于平坦化半导体表面。 * Etching：蚀刻技术，用于去除材料。 * Diffusion：扩散技术，用于在半导体中引入杂质。 二、半导体材料 * Silicon（Si）：...

评级：0 浏览量：29 收藏量：0 资源大小：320KB 上传时间：2022-03-13

半导体材料行业报告：硅片，化学机械抛光耗材，光刻胶，靶材，特气 ，化学品 其工作原理是在一定压力及抛光液的存 在下，被抛光的晶圆片与抛光垫做相对 运动，借助纳米磨料的机械研磨作用与 各类化学试剂的化学作用之间的有机结 合，使被抛光的晶圆表面达到高度平坦 化、低表面粗糙度和低缺陷...

评级：0 浏览量：245 收藏量：1 资源大小：1.55MB 上传时间：2021-03-23

AZ91D镁合金与纯镁表面纳米化后的纳米压痕实验 AZ91D镁合金与纯镁表面纳米化后的纳米压痕实验，刘洁，树学锋，使用机械研磨技术（SMAT）对AZ91D镁合金和纯镁进行表面纳米化处理,在材料表面形成厚度约为40μm的纳米层。分别对两种材料的纳米层、过

评级：0 浏览量：102 收藏量：0 资源大小：609KB 上传时间：2020-02-08

制备方法对铁钛催化剂物化性能及脱硝活性的影响 采用氨水共沉淀方法合成Fe3+/Fe2+摩尔比为1∶1及掺一定量Ti4+的铁钛固溶体催化剂，与机械混合研磨方法制备的铁钛催化剂相比较。探讨不同制备工艺对催化剂物化性能及催化活性的影响。借助X射线衍射(XRD)、N2吸脱附、X...

评级：0 浏览量：91 收藏量：0 资源大小：2.21MB 上传时间：2021-02-06

机械磨削加工余量标准 机械加工余量标准 25EQY—19-1999 1． 主题内容与适用范围 本标准规定了磨削加工的加工余量。 本标准适用于磨削各类材料时的加工余量。 2． 技术内容 加工余量表（一） 厚度4以上的平面磨削余量（单面） ...

评级：0 浏览量：285 收藏量：0 资源大小：188KB 上传时间：2011-06-18

半导体CMP工艺介绍.ppt 1994年，台湾的半导体生产厂第一次开始将化学机械研磨应用于生产中。1998年，IBM首次使用铜制程CMP。 CMP制程的全貌简介 CMP制程可以分为三部分：化学抛光、机械抛光和检测。化学抛光是使用化学剂来腐蚀和去除wafer...

评级：5 浏览量：493 收藏量：1 资源大小：623KB 上传时间：2021-09-02

精密成形及测量技术资料(说明书、实验安排、结课作业模板 传统的精密加工方法有砂带磨削、精密切削、珩磨、精密研磨与抛光等。 超精密加工就是在超精密机床设备上，利用零件与刀具之间产生的具有严格约束的相对运动 ，对材料进行微量切削，以获得极高形状精度和表面光洁度的...

评级：0 浏览量：15 收藏量：0 资源大小：167.43MB 上传时间：2024-01-11

我国CMP抛光垫生产现状.pdf CMP 技术将磨粒的机械研磨作用与氧化剂的化学作用有机地结合起来，可实现超精密无损伤表面加工，满足集成电路特征尺寸在 0.35μm 以下的全局平坦化要求。 CMP 技术的应用非常广泛，主要用于半导体和蓝宝石等方面。...

评级：0 浏览量：32 收藏量：0 资源大小：336KB 上传时间：2023-05-26

半导体CMP制程工艺技术概述.pdf 1994年，台湾的半导体生产厂第一次开始将化学机械研磨应用于生产中。1998年，IBM首次使用铜制程CMP。 CMP制程的主要目的在于对半导体表面的平坦化和抛光。该技术可以有效地去除表面上的缺陷和污染物，提高半导体...

评级：5 浏览量：97 收藏量：0 资源大小：845KB 上传时间：2021-10-13

探讨微机器人技术在超精密加工上的应用 1、引言 　随着产品质量要求的不断提高，以精密加工、微细加工和纳米加工...超精密加工主要包括超精密切削（车、铣）超精密磨削、超精密研磨（机械研磨、机械化学研磨、研抛、非接触式浮动研磨、弹性发射加工等）以及超

评级：0 浏览量：56 收藏量：0 资源大小：96KB 上传时间：2021-01-20

工业电子中的探讨微机器人技术在超精密加工上的应用 1、引言 　随着产品质量要求的不断提高，以精密加工、微细加工和纳米加工...超精密加工主要包括超精密切削（车、铣）超精密磨削、超精密研磨（机械研磨、机械化学研磨、研抛、非接触式浮动研磨、弹性发射加工等）以及超

评级：0 浏览量：98 收藏量：0 资源大小：97KB 上传时间：2020-10-22

CMP抛光材料行业研究：自主可控不断提升.docx 抛光液在化学机械抛光过程中可使晶圆表面产生一层氧化膜，再由抛光液中的磨粒去除，达到抛光的目的。 清洗液主要用于去除残留在晶圆表面的微尘颗粒、有机物、无机物、金属离子、氧化物等杂质。根据CMP细分抛光材料...

评级：0 浏览量：14 收藏量：0 资源大小：3.49MB 上传时间：2023-10-01

半导体制程培训CMP和蚀刻.pptx.ppt 2）这一反应生成的硅片表面层通过磨料中研磨机和研磨压力与抛光垫的相对运动被机械地磨去。 在CMP中，研磨液是一种混合物，由研磨材料和化学添加剂组成。研磨材料主要是石英、二氧化铝和氧化铈，而化学添加剂则要...

评级：0 浏览量：75 收藏量：0 资源大小：6.21MB 上传时间：2021-09-02

半导体CMP制程工艺技术概述.pptx 1994年，台湾的半导体生产厂第一次开始将化学机械研磨应用于生产中。1998年，IBM首次使用铜制程CMP。 CMP制程的未来发展方向包括：CMP制程的miniaturization，CMP制程的高throughput化，CMP制程的成本降低化等。...

评级：0 浏览量：106 收藏量：0 资源大小：1.02MB 上传时间：2021-10-13

半导体-第十四讲-CMP.ppt 对于铜的化学机械抛光，通常使用酸性（pH）的膏剂，而对于钨，氧化铝（矾土）是最常用的研磨料。 CMP 技术的优点是可以获得平整的表面，减少器件表面的机械损伤和金属线的缺陷。CMP 技术也可以用于解决硅片表面的...

评级：0 浏览量：89 收藏量：0 资源大小：732KB 上传时间：2021-09-02

2021年1月机修钳工初级模拟试题及答案卷29.docx 3. 研磨时使用的研磨剂是由磨料、研磨液和化学物质调合而成的。 4. 部件装配要达到装配规范和技术要求，还要达到设备修理通用技术标准。 三、机械装配技术 1. 液压系统若溢流阀或电磁阀失灵则有可能发出嗡嗡……...

评级：0 浏览量：41 收藏量：0 资源大小：30KB 上传时间：2021-09-20

汽车制造工艺.ppt 涂装制造工艺是指通过涂装设备和涂料将汽车零件表面涂装成不同的颜色和图案，从而形成汽车的外观。涂装制造工艺流程包括涂装工艺设计、涂料选择、涂装设备选择、涂装过程控制和涂装质量检测等几个步骤。 总装制造...

评级：0 浏览量：22 收藏量：0 资源大小：3.9MB 上传时间：2023-09-12

光学镜片加工工艺设计--抛光.doc 抛光是指对玻璃镜片进行机械抛光或化学抛光，以去除镜片表面的缺陷和impurities，提高镜片的表面质量和反射率。抛光的目的在于提高镜片的光学性能和抗污染能力。 玻璃镜片抛光工艺是一种常用的抛光方法，通过使用...

评级：5 浏览量：106 收藏量：0 资源大小：77KB 上传时间：2021-09-26

2021年1月工具钳工初级模拟试题及答案卷221.docx 包括维修复合模、齿轮基节仪、研磨动压轴承、机械加工顺序、夹具安装、测量头、杠杆卡规、三坐标测量机、夹具结构、工件定位、万能工具显微镜、高速旋转体、大型车床、高速切削、氧化铜、麻花钻、刀具磨损、装配精度...

评级：0 浏览量：37 收藏量：0 资源大小：29KB 上传时间：2021-09-20