集成电路设计基础 2010-11 年第一学期试题
一、 填空题( 20分)
1 、目前,国内已引进了 12英寸 0.09um
芯片生产线,由此工艺线生产出来的集成
电路特征尺寸是 0.009um (大
小),指的是右图中的 W (字
母)。
2 、 CMOS 工艺可分为 p阱 、 n阱 、 双阱
三种。
在 CMOS 工艺中, N 阱里形成的晶体管是 p ( PMOS , NMOS )。
3 、通常情况下,在 IC中各晶体管之间是由 场氧 来隔离的;该区域的
形成用到的制造工艺是 氧化 工艺。
4. 集成电路制造过程中,把掩膜上的图形转换成晶圆上器件结构一道工序是指 光
刻 ,包括 晶圆涂光刻胶 、 曝光 、 显影 、 烘干 四个步骤;
其中曝光方式包括 ① 接触式 、 ② 非接触式 两种。
5 、阈值电压 V
T
是指 将栅极下面的 si表面从 P 型 Si变成 N 型 Si所必要的电压,根据
阈值电压的不同,常把 MOS 区间分成 耗尽型 、 增强型 两种。降低 V
T
的措施包括: 降低杂质浓度 、 增大 Cox 两种。
二、名词解释(每词 4 分,共 20分)
① 多项目晶圆( MPW )
② 摩尔定律
③ 掩膜
④ 光刻
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