没有合适的资源？快使用搜索试试~
我知道了~
文库首页
安全技术
网络安全
半导体材料课件：第5章 硅外延生长5-3、5-4.pdf
半导体材料课件：第5章 硅外延生长5-3、5-4.pdf
1.该资源内容由用户上传，如若侵权请联系客服进行举报
2.虚拟产品一经售出概不退款（资源遇到问题，请及时私信上传者）
版权申诉
0 下载量
125 浏览量
2022-06-17
12:26:20
上传
评论
收藏
1.56MB
PDF
举报
温馨提示
618特惠：¥9.90
19.90
半导体材料课件：第5章 硅外延生长5-3、5-4.pdf
资源推荐
资源详情
资源评论
半导体材料课件：第5章 硅外延生长5-5.pdf
浏览：169
半导体材料课件：第5章 硅外延生长5-5.pdf
半导体材料课件：第5章 硅外延生长5.1-5.2.pdf
浏览：135
半导体材料课件：第5章 硅外延生长5.1-5.2.pdf
半导体材料课件：第7章 III-V族化合物的外延生长7-3,4,5,6.pdf
浏览：133
半导体材料课件：第7章 III-V族化合物的外延生长7-3,4,5,6.pdf
半导体材料课件：第4章 硅、锗晶体中的杂质和缺陷4.1-2.pdf
浏览：7
半导体材料课件：第4章 硅、锗晶体中的杂质和缺陷4.1-2.pdf
半导体材料课件：第3章 晶体生长3.2-3.3.pdf
浏览：107
半导体材料课件：第3章 晶体生长3.2-3.3.pdf
半导体材料课件：第7章 III-V族化合物的外延生长7-1,2.pdf
浏览：135
半导体材料课件：第7章 III-V族化合物的外延生长7-1,2.pdf
半导体材料课件：第4章 硅、锗晶体中的杂质和缺陷4.3-4.pdf
浏览：191
半导体材料课件：第4章 硅、锗晶体中的杂质和缺陷4.3-4.pdf
半导体材料课件：第1章 硅和锗的化学制备.pdf
浏览：4
半导体材料课件：第1章 硅和锗的化学制备.pdf
半导体材料课件：第6章 III-V族化合物半导体6-3、4、5.pdf
浏览：123
半导体材料课件：第6章 III-V族化合物半导体6-3、4、5.pdf
北邮大三上2022年《算法设计与分析》期末试题-A卷
浏览：134
北邮大三上2022年《算法设计与分析》期末试题-A卷-计科专业-5.0
2019city.zip
浏览：90
5星 · 资源好评率100%
最近因项目需要最新版的五级省、市、区、街镇、居委五级数据， 网上的大多数都是2019年以前的老版数据，2019年全国做过新的行政区划划分，故而有了我这篇资源。 表结构如下： CREATE TABLE `city` ( `id` bigint(20) NOT NULL COMMENT '区划代码', `name` varchar(50) DEFAULT NULL COMMENT '名称',
1000套计算机毕业设计带源码
浏览：125
5星 · 资源好评率100%
1000套计算机毕业设计带源码 可直接用带ppt 1000套计算机毕业设计带源码 可直接用带ppt1000套计算机毕业设计带源码 可直接用带ppt1000套计算机毕业设计带源码 可直接用带ppt1000套计算机毕业设计带源码 可直接用带ppt1000套计算机毕业设计带源码 可直接用带ppt1000套计算机毕业设计带源码 可直接用带ppt1000套计算机毕业设计带源码 可直接用带ppt1000套计算
计算机毕业设计答辩PPT模板（11套）.zip
浏览：42
5星 · 资源好评率100%
计算机毕业设计答辩PPT模板（11套） 计算机毕业设计答辩PPT模板（11套） 计算机毕业设计答辩PPT模板（11套） 计算机毕业设计答辩PPT模板（11套） 计算机毕业设计答辩PPT模板（11套） 计算机毕业设计答辩PPT模板（11套） 计算机毕业设计答辩PPT模板（11套） 计算机毕业设计答辩PPT模板（11套） 计算机毕业设计答辩PPT模板（11套） 计算机毕业设计答辩PP
山东大学计算机图形学2010试卷A(含答案).doc
浏览：194
山东大学计算机图形学2010试卷A(含答案).doc
MATLABSimulink电力系统建模与仿真
浏览：22
4星 · 用户满意度95%
MATLABSimulink电力系统建模与仿真
计算机统考408思维导图xmind
浏览：32
5星 · 资源好评率100%
报考浙大计算机时，自己做的思维导图，包含数学一、英语一、政治、408。内容为重要知识点以及常见、重要题型的思路总结。希望能对考计算机的学弟学妹们有所帮助。
浙江理工大学-计算机组成原理-实验一-运算器实验（完整报告）
浏览：130
（计组94分报告，超工整超详细。） 实验名称: TEC-2实验计算机运算器实验 实验地点：10-413 一．实验目的 1. 了解和掌握Am2901运算器的组成结构和工作原理； 2. 认识和掌握TEC-2机运算器的组成和工作原理； 3. 认识和掌握TEC-2机运算器相关控制信号的含义和使用方法； 二．实验原理 三．实验内容： 脱机和联机时运算器实验 在脱机与联机两种方式下，可以用一些数据实现多
头歌实践教学平台 MIPS流水CPU设计---HUST
浏览：97
5星 · 资源好评率100%
本实验从 MIPS 单周期 CPU 开始逐步构建无冲突冒险的理想指令流水线，能处理分支相关的指令流水线，采用气泡处理数据相关的气泡式流水线，采用重定向解决数据相关的重定向流水线。并最终在 MIPS 五段流水线上实现动态分支预测技术。 第1关：单周期CPU(24条指令).txt 第2关：理想流水线设计.txt 第3关：气泡流水线设计(EX段分支3624版本).txt 第4关：重定向流水线(EX段分
计算机毕设答辩-写作技巧-ppt-计算机毕设答辩ppt 怎么写-计算机毕设答辩ppt写作技巧-计算机-毕设-答辩-ppt
浏览：200
计算机毕设答辩-写作技巧-ppt-计算机毕设答辩ppt 怎么写-计算机毕设答辩ppt写作技巧-计算机-毕设-答辩-ppt 编写计算机毕设答辩PPT时，可以按照以下结构和内容进行组织： 1. 引言： 1. 介绍自己的姓名、学校、专业和毕设题目 2. 简要概述毕设的背景和目的 2. 研究背景与意义： 1. 说明选择该课题的原因和研究背景 2. 阐述该课题的重要性和应用价值 3. 目标与方法： 1. 阐
计算机理论问答集锦包括OS、计算机组成原理等课程
浏览：75
适合计算机相关专业面试人群
AAAI2023 会议论文集合（Oral）
浏览：45
AAAI2023 会议论文集合（Oral），包括了论文分类和论文名字，作者列表。共42页
机器学习期末复习题选择题库
浏览：16
5星 · 资源好评率100%
机器学习期末复习题选择题库
计算机网络谢希仁第七版课后答案完整版
浏览：10
3星 · 编辑精心推荐
计算机网络谢希仁第七版课后答案完整版
李治军计算机操作系统课件.zip
浏览：123
5星 · 资源好评率100%
李治军计算机操作系统课件.zip
Logisim组成原理实验-存储器实验
浏览：54
3星 · 编辑精心推荐
计算机组成原理存储器实验，包含MIPS RAM、MIPS 寄存器文件、Cache硬件设计（直接相联，全相联，组相联）
HNU计算机系统往年期末试卷
浏览：159
HNU计算机系统往年期末试卷
计算机组成原理白中英第六版解析
浏览：116
5星 · 资源好评率100%
计算机组成原理白中英第六版解析
人机交互期末复习要点.pdf
浏览：164
人机交互复习的要点，主要包括绪论，感知和认识基础，交互设备，交互技术，界面设计，人机交互界面表示模型和实现，Web界面设计，移动界面设计，可用性与用户体验评价
代码随想录最新第三版-最强八股文
浏览：64
5星 · 资源好评率100%
这份PDF就是最强⼋股⽂！ 1. C++ C++基础、C++ STL、C++泛型编程、C++11新特性、《Effective STL》 2. Java Java基础、Java内存模型、Java面向对象、Java集合体系、接口、Lambda表达式、类加载机制、内部类、代理类、Java并发、JVM、Java后端编译、Spring 3. Go defer底层原理、goroutine、select实现机制
吉林大学电子科学与工程学院
吉林大学电子科学与工程学院
半导体材料
半导体材料
第
第
5
5
章
章
硅外延生长
硅外延生长
吉林大学电子科学与工程学院
吉林大学电子科学与工程学院
半导体材料
半导体材料
5-1
、外延生长概述
5-2
、硅的气相外延生长
5-3
、硅外延层电阻率的控制
第
第
5
5
章
章
硅外延生长
硅外延生长
5-4
、硅外延层的缺陷
5-5
、硅的异质外延
吉林大学电子科学与工程学院
吉林大学电子科学与工程学院
半导体材料
半导体材料
5-3-4
外延层的夹层
5-3-1
外延层中的杂质及掺杂
5-3-2
外延层中杂质的再分布
5-3-3
外延层生长中的自掺杂
5-3
硅外延层电阻率的控制
吉林大学电子科学与工程学院
吉林大学电子科学与工程学院
半导体材料
半导体材料
1.
外延层中的杂质
外延层中杂质来源很多，总的载流子浓
度
N
总
可以
表示为：
N
总
＝
N
衬底
±
N
扩散
±
N
邻片
±
N
基座
±
N
系统
±
N
气
N
衬底
：
衬底挥发
的杂质掺入外延层中的杂质浓度分量
N
扩散
：
衬底
中杂质经
固相扩散
进入外延层的杂质浓度分量
N
邻片
：外延层中来自
相邻衬底
的杂质浓度分量
N
基座
：来自
基座
的杂质浓度分量
N
系统
：除上述因素外整个生长
系统
引入的杂质浓度分量
N
气
：
外延层中来自
混合气体
的杂质浓度分量
杂质类型
与衬底相同取
“+”
，
相反取
“-”
吉林大学电子科学与工程学院
吉林大学电子科学与工程学院
半导体材料
半导体材料
卤化物
掺杂剂：稀释在
反应气体
中
氢化物
掺杂剂：稀释在
氢气
中
通过调节
流量
来调整外延层的
电阻率
9
外延
N
型掺杂剂：
PCl
3
，
AsCl
3
，
SbCl
3
，
AsH
3
9
P
型掺杂剂：
BCl
3
，
BBr
3
，
B
2
H
6
I.
衬底
对外延层掺杂的影响
固态扩散
N
扩散
与气相自掺杂
N
衬底
II.
来自
衬底以外
的其他因素的自掺杂
基座、反应室、系统的污染
---
反应室的
记忆效应
III.
来自混合气体的气相掺杂
N
总
＝
N
衬底
±
N
扩散
±
N
邻片
±
N
基座
±
N
系统
±
N
气
2.
外延生长的掺杂（主动掺杂）
剩余40页未读，
继续阅读
评论
收藏
内容反馈
1.该资源内容由用户上传，如若侵权请联系客服进行举报
2.虚拟产品一经售出概不退款（资源遇到问题，请及时私信上传者）
版权申诉
618特惠：¥9.90
19.90
资源评论
资源反馈
评论星级较低，若资源使用遇到问题可联系上传者，3个工作日内问题未解决可申请退款~
联系上传者
评论
智慧安全方案
粉丝: 3702
资源:
59万+
私信
上传资源 快速赚钱
我的内容管理
展开
我的资源
快来上传第一个资源
我的收益
登录查看自己的收益
我的积分
登录查看自己的积分
我的C币
登录后查看C币余额
我的收藏
我的下载
下载帮助
前往需求广场，查看用户热搜
最新资源
Asset Bundle Extractor 3.0 beta1 x64
Android开发工程师学习路线图
CRC校验工具(.exe)
Kotlin学习资料自用
Il2CppDumper-net6-v6.7.40
联想 M710Q魔改BIOS 支持E3 V5 V6 NEC7代主机通用 ！！！
linux给net/socket.c部分接口添加pr-info后运行情况
linux给net/socket.c部分接口添加pr-info后运行情况
Il2CppDumper-net6-win-v6.7.40
KW38量产烧录 jlink
资源上传下载、课程学习等过程中有任何疑问或建议，欢迎提出宝贵意见哦~我们会及时处理！
点击此处反馈
安全验证
文档复制为VIP权益，开通VIP直接复制
信息提交成功
