而影响我国装备制造业的发展。一些机床厂家也不得不选用国外的伺服系统，使
得国产数控机床在价格、交货期、可靠性等方面均不占优势，更无心力开发市场
需求的新品种，从而失去巨大的市场份额。从公开的统计资料来看，CNC 系统
中 75%以上的故障出自伺服部分。然而，近年来在国家不断组织科技攻关的同时，
一些民营高科技公司也为发展我国伺服驱动技术注入了新的活力。
1.3 伺服电机发展历史
自从德国 MANNESMANN 的 RexrothR 公司的 Indramat 分部在 1978 年汉
诺威贸易博览会 上正式推出 MAC 永磁交流伺服电动机和驱动系统，这标志着
此种新一代交流伺服技术已进入实用化阶段。到 20 世纪 80 年代中后期，各公司
都已有完整的系列产品。整个伺服装置市场都转向了交流系统。早期的模拟系统
在诸如零漂、抗干扰、可靠性、精度和柔性等方面存在不足，尚不能完全满足运
动控制的要求，近年来随着微处理器、新型数字信号处理器（DSP）的应用，出
现了数字控制系统，控制部分可完全由软件进行，分别称为摪胧只瘮或抟旌鲜綌
、撊只瘮的永磁交流伺服系统。到目前为止，高性能的电伺服系统大多采用永磁
同步型交流伺服电动机，控制驱动器多采用快速、准确定位的全数字位置伺服系
统。典型生产厂家如德国西门子、美国科尔摩根和日本松下及安川等公司。
日本安川电机制作所推出的小型交流伺服电动机和驱动器，其中 D 系列适
用于数控机床（最高转速为 1000r/min，力矩为 0.25～2.8N.m），R 系列适用于
机器人（最高转速为 3000r/min，力矩为 0.016～0.16N.m）。之后又推出 M、F、
S、H、C、G 六个系列。20 世纪 90 年代先后推出了新的 D 系列和 R 系列。由
旧系列矩形波驱动、8051 单片机控制改为正弦波驱动、80C、154CPU 和门阵列
芯片控制，力矩波动由 24%降低到 7%，并提高了可靠性。这样，只用了几年时
间形成了八个系列（功率范围为 0.05～6kW）较完整的体系，满足了工作机械、
搬运机构、焊接机械人、装配机器人、电子部件、加工机械、印刷机、高速卷绕
机、绕线机等的不同需要。
以生产机床数控装置而著名的日本法那克（Fanuc）公司，在 20 世纪 80 年
代中期也推出了 S 系列（13 个规格）和 L 系列（5 个规格）的永磁交流伺服电
动机。L 系列有较小的转动惯量和机械时间常数，适用于要求特别快速响应的位
置伺服系统。
德国西门子（Siemens）公司的 IFT5 系列三相永磁交流伺服电动机分为标准
型和短型两大类，共 8 个机座号 98 种规格。据称该系列交流伺服电动机与相同
输出力矩的直流伺服电动机 IHU 系列相比，重量只有后者的 1/2，配套的晶体管
脉宽调制驱动器 6SC61 系列，最多的可供 6 个轴的电动机控制。
