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能谱仪的结构原理及使用PPT学习教案.pptx
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会计学
1
能谱仪的结构
原理及使用
一、实验目的
结合场发射扫描电镜
Sirion 200
附
件
GENESIS60E
型
X-
射线能谱仪,
了解能谱仪的结构及
工作原理。
结合实例分析,熟悉
能谱分析方法
及应用。
学会正确选用微区成
分分析方法及
其分析参数的选择。
第
1
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/
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32
页
二、能谱仪结构及工作
原理
X
射线能量色散谱分
析方法
是电子显微技术最基
本和一直使
用的、具有成分分析
功能的方法,
通常称为
X
射线能谱分
析法,简
称
EDS
或
EDX
方法。
第
2
页
/
共
32
页
二、能谱仪结构及工作
原理
特征
X
射线的产生
产生
:
内壳层电子被轰击后跳到比费米能高的
能级上,电子轨道内出现的空位被外壳层轨道的电
子填入时,作为多余的能量放出的就是特征
X
射
线。
特点:
特征
X
射线具有元素固有的能量,所以,
将它们展开成能谱后,根据它的能量值就可以确定
元素的种类,而且根据谱的强度分析就可以确定其
含量。
第
3
页
/
共
32
页
二、能谱仪结构及工作原
理
X
射线探测器的种
类和原理
展成谱的方法:
X
射线能量色散谱方法
(
E
DS:energy disper
sive X-ray
spectroscopy)
X
射线波长色散谱方法
(
WD
S
:
wavelength
dispersive X-ray s
pectroscopy)
在分析电子显微镜中均采用探测率高的
EDS
。从试样产生的
X
射线通过测角台进入到探
测器中。
第
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