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微小位移技术PPT学习教案.pptx
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会计学
1
微小位移技术
微位移技术
一:概述
二:压电、电致伸
缩器件
三:电磁控制的微
动工作台
四:柔性铰接
五:精密工作
台的设计及特性
分析
六:其他类型微位
移工作台
第
1
页
/
共
60
页
微位移技术发展很快。用金刚石车刀直接车削大型天文望
远镜的抛物面反射镜时,要求加工出几何精度高于
1/10
光波波长的表面,即几何形状误差小于
0.05 m
。计算机
外围设备中大容量磁鼓和磁盘的制造,为保证磁头与磁盘
在工作过程中维持
1 m
内的浮动气隙,就必须严格控制
磁盘或磁鼓在高速回转下的跳动。特别是到
20
世纪
70
年
代后期,微电子技术向大规模集成电路(
LSI
)和超大规
模集成电路(
VLSI
)方向发展,随着集成度的提高,线
条越来越微细化。
256K
动态
RAM
线宽已缩小到
1.25 m
左右。目前已小于
0.1 m
,对与之相应的工艺设备(如
图形发生器、分步重复照相机、光刻机、电子束、和
X
射
线曝光机及其检测设备等)提出了更高的要求,要求这些
设备的定位精度为线宽的
1/3
~
1/5,
即亚微米甚至纳米级
的精度。
概述
第
2
页
/
共
60
页
概述
第
3
页
/
共
60
页
微位移机构的分类及应用
微位移机构(或称微动工作台)由微位器和导轨 两部分
组成,根据导轨形式和驱动形式分成五类:
①
柔性支撑、压电或电致伸缩微位器驱动 ;
②
滚动导轨,压电陶瓷或电致伸缩微位移器驱动;
③
滑动导轨,机械式驱动;
④
平行弹性导轨,机械式或电磁、压电、电致伸缩微位
移器驱动;
⑤
气浮导轨,伺服电机或直线电机驱动。微位移器根据
形成微位移的机理可分成两大类:机械式和机电式
.
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