测量学是关于确定尺寸、数量和容积的测量的科学。测量学指的是在工
艺流程中为了确定硅片的物理和电学特性的技术与过程。用于制造中的
测量学使用测试设备和传感器来收集并分析关于硅片参数和缺陷的数据。
缺陷是指导致不符合硅片规范要求的硅片特性或硅片制造工艺的结果。
硅片的缺陷密度是指硅片表面单位面积的缺陷数,通常以 cm2 为单位。
硅片缺陷按类型和尺寸来划分。制造人员应用测量学以确保产品性能,
并做出关系到改善工艺性能的有意义的决定。
对硅片性能的精确评估必须贯穿于制造工艺,以验证产品满足规范要求。
要达到这一点,在硅片制造的每一工艺步骤都有严格的质量测量,为使
芯片通过电学测试并满足使用中的可靠性规范,质量测量定义了每一步
需求的要求。质量测量要求在测试样片或生产硅片上大量收集数据以说
明芯片生产的工艺满足要求。
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