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CMOS集成电路工艺与图实用PPT学习教案.pptx
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会计学
1
CMOS
集成电路工艺与图
实用
硅片
氧化硅
光刻胶
扩散区
第
1
页
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61
页
定义版图
什么是版图?
集成电路制造工艺中
,通过光刻和刻蚀将
掩膜版上的图形转移
到硅片上。这种制造
集成电路时使用的掩
膜版上的几何图形定
义为集成电路的版图
。
版图要求与对应电路
严格匹配,具有完全
相同的器件、端口、
连线
第
2
页
/
共
61
页
栅极负责施加控制电压
源极、漏极负
责电流的流进
流出
导电沟道
一、单个
MOS
管的版图实现
第
3
页
/
共
61
页
有源区
栅
导电沟道
有源区注入杂
质形成晶体管,
栅与有源区重
叠的区域确定器
件尺寸,
称为
导电沟道
1
、图形关系
第
4
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