1. 引言
随着信息时代的飞速发展,无线通信的用户也在随着急剧增长,而无线频谱资源的短
缺和用户数量的增多的矛盾却制约了通信的进步
[1]
。而解决这一问题的关键在于对频谱资
源节流开源。与 5G 相比,6G 作为新一代的移动通信系统,支持更高的数据速率、更低的
时延和更高的可靠性
[2]
,并且更加亲和用户和业务,即可以为用户提供针对性更强的高质
量服务。此外,6G 也将无线融合通信纳入研究范畴,其中通信和感知融合就是一种典型的
融合通信。在目前信息时代,通信和感知是独立存在的,例如 4G 通信系统只负责通信,
雷达系统只负责测速、感应、成像等功能
[3]
。这样分离式的设计既造成了频谱资源和硬件
资源的浪费,又因为各自独立带来了信息时延较高的问题。而通信感知一体化
[4]
是节约频
谱资源的可靠方法,除此之外,可见光通信
[5]
则是有效对现有频谱资源的补充和开拓,可
见光通信作为新一代无线通信技术,是我国“十三五”重点发展的信息技术之一。可见光的
波长范围在 380~780 nm
[6]
,具有高带宽、高速率、保密性好、频谱资源丰富等优点
[7]
,未
来能够在灯光上网、室内导航和定位
[8]
、水下通信
[9]
、智能安防
[10]
、智能交通
[11]
和智慧城市
中得到推广与应用
[12]
。
基于以上两个原因,结合量子阱二极管发光谱和探测谱出现部分重叠的物理现象
[13]
,
同时,量子阱二极管可以吸收另一个同一结构二极管的光子
[14]
,并转化为光电流输出。这
意味着在同一个芯片上集成多个相同的量子阱二极管,分别作为通信发送和探测感知器
件,就可以实现单个芯片通信感知一体化。将可见光通信和感知融合,可以有效减少频谱
的消耗,同时减少了收发设备的数量和体积。可将其应用于可见光音频通信、视频通信、
可见光脉搏测量装置或其他光电反射式传感器,均有广阔的应用前景。
进入 6G 时代,通信频谱不会局限于电磁波,可见光通信也是重要一环,未来通信的
频谱也会与感知频谱结合,这就需要研究新技术探讨二者融合,可见光通信感知一体化可
以方便实现通信与感知资源的联合调度
[15]
。
2. 氮化镓量子阱二极管的制备
首先我们采用 10 cm 蓝宝石衬底,利用金属-有机化学气相沉积(Metal Organic
Chemical Vapor Deposition, MOCVD)技术制造 InGaN/GaN 多量子阱(Multiple Quantum
Wells, MQW)结构的外延薄膜,然后通过电感耦合等离子蚀刻方法蚀刻外延薄膜实现器件
隔离,其次通过溅射法沉积出 230 nm 厚的透明氧化铟锡(Indium Tin Oxide, ITO)电流扩展
层,接着利用氮气对其进行 7 min 热退火,使其稳定,减少变形和裂纹倾向。用 HCl/FeCl
3
混合物腐蚀 ITO 层,直至暴露 n-GaN 表面。将混合金属堆沉积在 n-GaN 和 ITO 表面,然
后进行金属脱离和快速热退火,通过等离子体增强化学气相沉积(Plasma-Enhanced