国金证券-C飞测(688361)国内半导体量／检测设备领先企业，打造中国KLA-230519.pdf
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2023-06-20
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投资逻辑
半导体量/检测设备国产化率极低，公司有望深度受益于国产替
代。量/检测设备是集成电路制造中保证良品率的关键，贯穿于
整个生产过程，随着工艺结构复杂化其重要性凸显。全球 2021
年市场规模约 100 亿美元，竞争格局集中，美国科磊 KLA、美国
应用材料、日本日立位居前三，KLA（市占率 54%）一家独大。中
国大陆市场进口依赖度高，2021 年国产化率仅 3%，国内主要有
中科飞测、上海精测、上海睿励（中微公司持股）及东方晶源等
公司持续突破。目前国内企业在图形/无图形晶圆检测、膜厚/关
键尺寸/套刻量测等多个细分领域持续发力突破，国内厂商市占
率有望进入成长快车道，深度受益国产替代。
中科飞测成立于 2014 年，目前在半导体量/检测设备收入体量上
为国内龙头，高研发支出保证公司持续创新能力。公司 22 年实现
营收 5.09 亿元，同比+41.2%；归母净利润 0.12 亿元，同比-78.0%。
下游客户包含中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、通富微
电等国内主流制造及封装厂。公司 2022 年研发费用率高达 40.4%，
主要产品包括无图形晶圆缺陷检测、图形晶圆缺陷检测、三维形貌
量测、薄膜膜厚量测等产品，已应用于国内 28nm 及以上制程的集
成电路制造产线，同时正在积极研发纳米图形晶圆缺陷检测、晶圆
金属薄膜量测等设备，我们看好公司在产品型号横向扩张的同时，
不断突破制程节点。公司 IPO 发行 8000 万股，发行价 23.60 元/
股，募集总金额 18.9 亿，用于高端半导体质量控制设备产业化项
目/研发中心升级建设及补充流动资金。
2022 年末公司合同负债 4.8 亿，存货中发出商品 4.3 亿，在手订
单充足。 公司 21/22 年合同负债为 1.6/4.8 亿 元 ， 同比
+384%/+217%，发出商品为 2.4/4.3 亿元，同比+425%/+76%，在手
订单充沛且销售强劲，快速成长动力足。
盈利预测、估值和评级
我们预计公司 2023-2025 年分别实现营收 7.9/11.6/15.6 亿元，
同比增长 55%/47%/35%，归母净利润为 0.4/1/1.8 亿元,同比增长
270%/120%/93%，EPS 分别为 0.14/0.3/0.57 元。目前国内半导体
量/检测设备国产替代空间巨大，叠加创新驱动及自主可控下国内
晶圆厂资本开支持续提升，公司具备长期持续且较高的成长性。采
用现金流折现法对公司投资价值进行分析，公司归母股权价值 243
亿元，目标价 76 元/股。首次覆盖，给予“买入”评级。
风险提示
半导体设备行业景气度下行风险、国际贸易政策变化风险。
公司基本情况（人民币）
项目
2021
2022
2023E
2024E
2025E
营业收入(百万元)
361
509
791
1,160
1,562
营业收入增长率
51.76%
41.24%
55.29%
46.65%
34.73%
归母净利润(百万元)
53
12
43
95
184
归母净利润增长率
34.96%
-78.02%
269.79%
119.63%
92.56%
摊薄每股收益(元)
0.223
0.049
0.136
0.298
0.574
每股经营性现金流净额
-0.43
0.27
-0.43
0.22
0.80
ROE(归属母公司)(摊薄)
9.63%
2.06%
1.76%
3.71%
6.67%
P/E
N/A
N/A
503.66
229.32
119.09
P/B
N/A
N/A
8.84
8.52
7.95
来源：公司年报、国金证券研究所
仅供内部参考，请勿外传
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