高压SOI工艺SCR+ESD保护器件研究_soi_esd_SCR_

针对 ＥＳＤ保护器件ＳＣＲ的维持电压和触发电压难以调整的问题，设计了一种 ＳＣＲ 版图形式，这种新型的ＳＣＲ版图形式可以将维持电压和触发电压进行最优化的调整，同时不改变原有的高压工艺的特点。从 而 解 决了在高压 ＥＳＤ保护领域，使用ＳＣＲ做 ＥＳＤ保护器件容易引入闩锁效应的问题，是目前高压 ＥＳＤ 保护领域较好的解决方案。