MOCVD 应用的范围
大家可以讨论一下 MOCVD 技术.
MOCVD 应用的范围 (转自 COEMA)
1) 钙钛矿氧化物如 PZT、SBT、CeMnO2 等;
2) 铁电薄膜;
3) ZnO 透明导电薄膜、用于蓝光 LED 的 n-ZnO 和 p-ZnO、用于 TFT 的 ZnO、ZnO 纳米线;
4) 表面声波器件 SAW(如 LiNbO3 等);
5) 三五族化合物如 GaN、GaAs 基发光二极管(LED)、激光器(LD)和探测器;
6) MEMS 薄膜;
7) 太阳能电池薄膜;
8) 锑化物薄膜;
9) YBCO 高温超导带;
10) 用于探测器的 SiC、Si3N4 等宽带隙光电器件