论文研究-MOCVD反应器中瞬态热流场的数值研究 .pdf

MOCVD反应器中瞬态热流场的数值研究 ，钟树泉，任晓敏，利用二维动力学模型，通过优化计算MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 反应器的进气流量、操作压力、衬底温度、基座旋转等几个重要