论文研究-一种新型光学邻近效应修正的验证配方 .pdf

一种新型光学邻近效应修正的验证配方 ，季亮，，(1)光学邻近效应修正的验证作为光掩模板制造前对光刻工艺缺陷的提前检测，随着先进工艺开发的难度逐渐提升，其验证配方开发周期被