论文研究-智能抽样系统在集成电路制造中缺陷检测的应用 .pdf

智能抽样系统在集成电路制造中缺陷检测的应用，黄沙，周健军，本文旨在研究全新的缺陷检测抽样系统，以解决现阶段传统抽样方法在不能及时和全面的抽取样本的问题。通过改变取样对象，结合对各