论文研究-CMOS图像传感器后段先进工艺制程 .pdf

CMOS图像传感器后段先进工艺制程，范洋洋，，本文研究基于55纳米CMOS制造工艺发展出来的CMOS图像传感器(CMOS Image Sensor, CIS)的生产工艺，对后段工艺进行了优化改良以提高成像效果。��