论文研究-超导Josephson隧道结的制备工艺及性能改善 .pdf

超导Josephson隧道结的制备工艺及性能改善，常俊杰，翟计全，超导Josephson隧道结是实现超导量子比特的基本元件。本文介绍了一种利用电子束曝光技术和电子束斜蒸发技术相结合的方法来制备铝超导