电场加工纳米结构的评价方法 (2004年)

纳米结构形状特征及其相关参数的评价是扫描探针显微镜(SPM)加工面临的一个主要问题。文中对原子力显微镜(AFM)电场诱导硅氧化结构的部分形状特征进行了分析和讨论。借助传统评价方法,结合纳米加工实际,提出了几个评价参数,并用于SPM加工方法的评价中,其中加工线宽是一个关键参数。与加工线宽相关的参数还包括直线度践平行度垂直度倾斜度由口工高度及纵横比等。通过对AFM加工生成的线结构进行评价,说明了该方法的可行性。