基于PIN光电二极管的微型一氧化氮化学发光传感器

以微型、低成本的PIN光电二极管为光电探测元件, 研制了微型一氧化氮化学发光传感器; 选取Si探测器和InGaAs探测器的5种光电元件, 考察其与一氧化氮发光光谱响应及噪声的关系。结果表明：边长为1.2 mm的正方形Si探测器响应灵敏, 暗电流噪声低, 信噪比最低; 设计的小型光腔实现了微量一氧化氮(体积分数为2×10-6～2×10-4)的测量, 线性度为0.9993; 整个系统的响应时间为0.13 s, 传感器的质量小于50 g, 非常适合用于工业污染源一氧化氮气体的在线监测。