数据储存行业报告：3D+NAND产业格局，长江存储专题研究

在长江存储截至目前可查的设备采购清单中，国内设备厂商在刻蚀机、物理气相沉积设备（PVD）、等离子体增强化学气相 沉积（PECVD）、立式炉设备、清洗机设备、干法去胶设备、化学机械抛光设备等主要领域都实现了突破，代表性的企业包 括刻蚀设备龙头A公司、北方华创、盛美半导体、Mattson、沈阳拓荆、、华海清科等； 单个领域实现突破的设备厂商有： 刻蚀设备龙头A公司的CCP刻蚀设备、盛美半导体的单片式清洗设备、华海清科的化学机械抛光设备和沈阳拓荆的PECVD设 备； 多个领域实现突破的设备厂商有： 北方华创的立式炉设备、PVD设备、ICP刻蚀设备、槽式清洗设备； Mattson的CCP刻蚀设备和干法