重掺磷直拉硅单晶在高温退火下的氧沉淀行为，曾俞衡，马向阳，本文研究了重掺磷直拉硅单晶中分别形核于磷化硅和氧化硅的氧沉淀在高温1000oC下处理4-256小时的行为。研究发现SiP可以作为氧沉淀的异�
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