研究了极化的P(VDF-TrFE)铁电聚合物门控对AlGaN / GaN金属氧化物半导体高电子迁移率晶体管(MOS-HEMT)的影响。 通过施加电场,AlGaN / GaN MOS-HEMT的源极/漏极访问区中的P(VDF-TrFE)门被正极化(即,部分带正电的氢与AlGaN表面对准),从而导致降低AlGaN / GaN界面处的导带。 这增加了AlGaN / GaN异质结构的源极/漏极访问区域中的二维电子气(2-DEG)密度,从而减小了源极/漏极串联电阻。 还使用原子力显微镜(AFM),X射线衍射(XRD)和铁电磁滞回线测量对P(VDF-TrFE)铁电膜进行了详细的材料表征。