在扫描电子显微镜（SEM）图像的研究中，对电压反差影响的研究是一个重要的课题，因为它涉及到图像质量的控制和样品特征的精确解读。SEM是一种利用电子束在样品表面扫描时产生的信号来形成高分辨率图像的技术。其工作原理是电子束与样品相互作用产生二次电子、背散射电子等信号，这些信号通过探测器收集并转换成电信号，最终形成图像。电压反差是SEM图像分析中一个重要的对比度来源，它与样品表面的电势分布相关。
在本文中提到的电压反差研究，与样品的电学特性有密切关联。特别是，在DRAM（动态随机存取存储器）测试模式下的金属回路接触链图案中，电压反差点表明了由Vcc（电源电压）到Vss（接地）的负电位导致的浮空区域呈现明亮。这种现象通常被称为浮空效应（floating effect），在电子设备中，当元件或区域未与任何电位相连时，就会出现这种情况。
另外，FIB（聚焦离子束）截面观察显示，在多层电容器（polycapacitor）或存储节点接触中，使用非导电的氮化物层（ONO film）会导致接触不良，并形成暗点。这是由于接触孔未充分打开而引起的，所有导电路径都接地，进而影响了电压反差。
本文中的标签“LabVIEW”暗示了研究工作中可能涉及使用了LabVIEW软件。LabVIEW是美国国家仪器（National Instruments，简称NI）公司开发的一种图形化编程语言，主要用于数据采集、仪器控制和工业自动化。在电子显微镜的图像处理和分析中，LabVIEW可以用来设计自动化控制程序，进行实时数据处理和图像获取，也可以开发用于分析图像数据的算法，例如用于分析电压反差的算法。
在扫描电镜图像中，除了电压反差之外，形貌反差也是一个重要因素。形貌反差来源于样品表面结构的微小起伏，影响了电子束与样品的相互作用，进而影响到图像的亮度。通过分析形貌反差，可以揭示样品的表面细节和三维结构信息。
电压反差和形貌反差是扫描电子显微镜图像分析中两个重要的因素。它们影响图像的质量和可读性，进而影响对样品特性的解读。在实验和研究中，通过控制样品的电学特性以及使用适当的图像分析软件（如LabVIEW），可以更准确地获取和分析SEM图像，提高研究的准确性和效率。本文内容通过OCR识别的OCR扫描文档部分文字存在一些错误和遗漏，但大体上描述了在DRAM测试模式下金属回路接触链图案的电压反差现象和FIB截面观察中由ONO层导致的接触不良问题。这些内容对于理解和应用SEM图像中的电压反差分析具有重要意义。
