在精度和稳定性日趋重要的今天，得到全球数以千计用户认可的
ML10 Gold
激光干涉仪系统是您的理
想选择。
不同于以传统四象限传感器取代高精度激光波长基准来实现提高工作效率的作法，
Renishaw
在保证
激光波长溯源性的前提下，通过一系列针对数控设备专利设计的光学镜及特定功能等来提高效率。
•
性能指标
Renishaw
给出的精度指标是严格按照
ISO
国际标准中关于测量不确定度的计
算方法，综合了激光稳定性、传感器输
出等数值和所有影响最终测量的关键参
数的基础上给出的。整个系统精度的置
信度达
95%
(
k=2
)，并且已经包括了实
际使用中由于漂移带来的误差影响。
•
实际使用性能
世界范围内数千台
ML10
激光干涉仪的
多年现场使用事实表明，在各种不同工
作条件下，
Renishaw
长期以来一直提
供着满足甚至高于其性能指标的激光干
涉仪产品，这种性能表现已不断经过第
三方 ( 包括国内外的国家级计量院，如
中国计量院、德国
PTB
、美国
NIST
、
英国
NPL
等 ) 的验证。
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精度的可溯源性
Renishaw
激光干涉仪的所有测量功能，
包括直线度和角度等测量，都是基于激
光干涉原理，具有对国际标准激光波长
的溯源性。而那些利用电子标靶进行俯
仰、扭摆和直线度误差测量系统，会影
响测量精度和稳定性。
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分离的干涉镜
Renishaw
的干涉镜与激光头分离开来，
与那些将干涉镜安装在激光头上 ( 内
部 ) 的仪器相比，可有效避免热漂移。
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环境补偿
激光测量中最大的不确定因素来自于
环境条件 ( 气压、气温和湿度 ) 的变
化。在典型条件下，这些变化可以给
测量带来多达
± 20 ppm
的不确定度。
Renishaw
的
EC10
环境补偿单元中使
用了高精度的环境传感器，从而其环
境补偿结果能够使系统在
0
~
40° C
的
工作范围内保持为
± 0.7
ppm
的精度。
世界领先的激光测量系统
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“取消”预热功能
“预热”是激光干涉仪测量前为保证仪
器在精度范围内工作而必须的准备过
程。
ML10 Gold
在短时间断电后重新通
电（如从一台设备转到另一台设备测量）
可立刻恢复工作状态！
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专利设计的激光准直辅助镜
准直辅助镜极大地简化了激光光路准直
必须调整三脚架的传统方法。
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程序自动生成与传送
Renishaw
Laser10
软件内置有
FANUC
、
SIEMENS
等多种数控系统
的测量程序编程模块，并提供与机床相
通讯的接口功能以方便测试现场使用。
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误差补偿表
不同的控制器有不同的误差补偿机理。
Laser10
软件可根据不同要求产生误差
补偿表，只需手工将有关计算结果键入
数控系统即可。
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自动误差补偿软件
可从程序生成、传送到修改机床补偿参
数实现自动化，在改善补偿精度的同时
大幅节省检测与补偿时间。
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效果
上述功能在一用户现场，仅半天内便完
成四台加工中心共计
12
根坐标轴的精
度自动检测与补偿。
从仪器预热准备，编制数控测量程序到最后更改机床参数，
Renishaw
均有一系列
独特技巧。
X-Y
平台校准
(Danaher Precision Systems)
频率稳定性出厂测试
数控机床精度校准
三测机精度校准
