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单晶硅产业技术经济综合分析
F0CUS[关注 2000年,太阳能用6英寸硅片需将步入一个平稳发展期,单晶硅集成电寸将采用16~18英寸。 求量为19.7亿平方英寸,卢整体市场路用硅片市场需求,将保持稳定,产能 日前,全球主流硅品片已由8英寸 的544%;8莫寸硅片需求量为13.1扩张不大,但技术更新步伐则加快 逐渐过渡到12英寸,研制水平达到了16 亿平方英寸,占整体市场的36.1%虽 莫小;但我国太阳能电池硅片还是以6 然无论是太阳能市场还是半导体市三、我国单晶硅的发展建议 英寸占主流,主要产品为莫寸以下,8 场,硅片向大尺寸发展都是必然的趋 前,我国硅材料行业与世界水莫寸少量生产,12英寸开始研制。日前 势,但在未来5年内,大阳能市场仍将平相比还存在相当人的差距,约相当于国外8英刂IC生产线正向我国战略性移 以6英寸硅片为主,预计2011年中国国际上20世纪80年代中期的水平、人动,我国新建和在建的8英小IC生产线 太阳能用硅材料市场需求量将达到约落后2年左右。我国单晶硅生产厂有近10条之多,对大直径高质量的硅晶 249.9亿平方英寸,2007-201年需求发展的制约因素,主要是缺乏优质多晶片需求十分强劲,然而国内供给明显不 量年均复合增长率将达到39.6% 硅材料、性能优良的大单晶炉和一些关足,基本依赖进口,我国硅晶片的技术差 目前,国内单晶硅主要生产厂家有键技术。在大直径单贔硅的生长及硅距和结构不合理可见一斑。在现有形势 14家,主要有北京有研硅股、浙大海纳片加工方面,我国还有许多国际先进技和优势面前,我国硅单晶和C技术发展 公司、洛阳单晶硅厂、上海晶华电子浙术尚未掌握,如单晶硅制备屮的控氧面临着巨大的机遇和挑战。①在单晶 江硅峰电子公司和河北宁晋单品硅基技术、大直径单品硅线切割技术、硅边硅方面,目前国外硅材料公司把主要精 地等。冇研硅股在大直径单品硅的研制缘拋光技术、硅片吸除技术、硅片大生力集中到效益更好的20mm和30Omm 方面一直居国内领先地位,先后研制出产的计算机系统管理技术等 硅片生产,而100~150mm的市场需 我国第一根6英寸8英寸和12英寸单品 随着硅材料制备技术的提高和集求可能会逐步转向我国,我们应抓住 硅,单品硅在国內市场占冇率为40%近成技术的进步,硅片大直径化已成为这个市场机遇。②应发展直径为200 几年米,单晶硅产量明显增长,增长的动当前单晶硅材料发展的显著特征和必300mm的单晶砫,参与国际市场,也可为 力主要来自国际上对分立器件和砫光电然趋势。硅片直径的扩大可以大大提步国内需求打好基础;③我国也应抓 池用低档和廉价硅材料需求量的增加。 高半导体的性能,为器件厂提升生产紧研制大型单晶炉,有了性能优良的大 砫材料市场前景广阔,中国单晶效率、降低生产成本,带来显著经济效单晶炉自然就有了优质大单晶。 硅的产量、销售收入近几递增较快,益。根据美国的15仟米导体技术发展 我国开发大直径高质量单晶及 以中小尺寸为主的硅片生产已成为国规划,预计到2010,半导体集成电其佳片,应走引进技术和资金、走合资 际公认的事实,为世界和中国集成电路(lC)最小线宽将达到007μm.动建设的道路,以我国巨大的市场来换 路、半导体分立器件和光伏太阳能电态随机存储器(DRAM)达到64GB,微取投资。这是因为大直径硅片工丿的 池产业的发展作出了较大的贡献。 处理器(MPU)和应用型专用集成电建设需要先进的技术和大量的资金, 经济危机席卷全球,世界半导体路(ASIC)集成度分别达到90M晶体只有寻求与国际知名的大公司合作, 制造业将重新布局,我国半导体制造业管/cm2和40M晶体管/cm2,硅圆片尺才是一条快捷的发展之路。四园 参考文献 [1]苑国良.河北晶龙:世界单昰硅的圣地.中国电子商情:基础电子,2006(4):68-70 [2]国内太阳能电池硅片6英寸占主流.互联网,2007-12-24 [3]蒋荣华,肖顺珍.半导仁砫材料最新发展现状.半导体技术,2002,127(2):3-6. 「4]半导体硅材料产业发展:2003年度. ISTIS,2006-10-26 [5]硅材料行业.互联网,2005-11-23. [6]电子信息材料:高附加值增加. pcbn.ccm,2007-10-17 冂]电子材料:光伏领域最热结构调整初显成效.互联网,2008-12-05. [8]2008年国内太阳能级单品硅产量4621吨.中国电子元件行业协会,2009-08-11 [9]凌玲.半导体材料的发展现状.新材料产业,2003(6):6-10. 新材劉产业N6201017

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