超磁致伸缩压电直线式蠕动机构的设计 (2005年)

为研制大行程高精度进给机构，基于蠕动运动原理，以超磁致伸缩微驱动器为驱动元件、嵌入柔性铰链中的压电陶瓷驱动器与V形导轨配合为箝位方式，研制了超磁致伸缩压电直线式蠕动机构样机，并利用计算机对其运动进行了闭环反馈控制。运行测试结果表明，该机构能够稳定地蠕动步进和后退，位移重复定位精度可以达到±15nm。