环形抛光中倾覆力矩对工件面形的影响及解决方法

对环形抛光法加工大小口径工件面形不一致的问题进行了研究。在0.69 m 环形抛光机上发现，φ100 mm 工件面形微凹时，φ48 mm 工件为峰谷(PV)值0.336 λ(λ = 632.8 nm) 的凸面形。利用Winkler假定和Preston方程对工件的面形进行了研究，发现倾覆力矩是引起面形不一致的主要原因。对于圆形工件的理论计算结果表明，当工件和抛光盘之间的摩擦系数与分离器对工件的作用力合力的高度的乘积大于工件直径0.125 倍时，工件将会变凸。对工件进行了加压、润滑和降低工件支撑位置等实验，发现加压不能改善工件面形一致性；在抛光液中添加润滑剂后一致性有了一定的改善，φ48 mm 工件PV 值降为0.128 λ ；而降低工件支持位置后，大小口径工件面形不一致性问题得到了解决，φ48 mm 工件PV 值降为0.058 λ ，且变为微凹面。此结果表明抛光盘与工件的摩擦系数不能太大，且分离器对工件的支持位置应尽量靠进盘面。