为了研究用于表面等离子(SP)波的可集成表面等离激元受激放大辐射(SPASER)放大器,设计了植入饱和吸收体的金属绝缘体金属(MIM)结构放大器的基本组成。根据SPASER的基本原理,对激射条件进行了分析,给出了放大器的制作工艺和抽运脉冲的设计以及性能指标。结果表明研制的放大器在选择566 nm波长的入射光和532 nm波长的抽运光,放大区采用长度范围为1~1.5 μm的条件下,其脉冲响应时间可达100 fs,带宽为1.5~2 THz,SP的放大增益为30~60 dB。该SPASER放大器研究将为大规模集成光子学芯片设计提供理论和技术基础,可在下一代高速通信系统中得到广泛应用。