二维正交光楔列阵大焦斑均匀照明光学测试系统的研究

为了检测列阵式靶面均匀照明光学系统的聚焦特性,成功地开发了测定微米量级光强度起伏干涉斑纹投影放大的新技术。报道了测定聚焦光斑一维、二维大尺度不均匀性及小尺度干涉斑纹的实验方法、结果及误差分析。