X射线衍射光学部件的制备及其光学性能表征

综述了国内外在纳米加工斬射线衍射光学透镜方面的研究现状和最新进展暎介绍了作者团队过去三年在这方面.做的工作暎针对衍射透镜关键技术棳研发了具有大高宽比形貌的电子束光刻基础工艺椈结合金电镀棳提出了纳米尺度波.带片的制造技术棳并将该工艺成功扩展于分辨率板棬斢旈斿旐斿旑旙旙旚斸旘棭和集成光栅型会聚透镜的研制暎运用蒙特卡罗模拟和.显影动力学棳探索了电子束光刻技术所能够实现的最大高宽比以及造成这种限制的物理根源椈成功研制了椀棸暙棻棸棸旑旐.的波带片透镜棬其中棳棻棸棸旑旐波带片高宽比为棻椂暶棻棭暍椀棸暙棾棸棸旑旐的分辨率测试板棬其中棳棾棸棸旑旐测试板高宽比为.棻棸暶棻棭和棽棸棸旑旐的会聚透镜棬高宽比为棻棸暶棻棭暎对所研制的光学部件在同步辐射光源进行了实验表征暎结果表明棳棻棸棸.旑旐波带片聚焦斑尺寸为棽棾棿旑旐棳测试板和会聚透镜的光学特性与国外同样光学部件到达同等水平椈会聚透镜辐照的均.匀性为椆椆棩暎最后棳总结了近几年我国斬射线衍射透镜的发展进度棳指出了衍射光学部件光学性能发展的最大瓶颈是.分辨率与衍射效率相互制约棳提出了提高光学部件衍射效率的具体途径棳给出了我国斬射线衍射透镜技术的未来发展.路线图。