硫系玻璃基底减反保护膜及其耐环境适应性的研究

基于硫系玻璃IRG206(As40Se60)基底,研制了8~12 μm波段的减反保护膜。该薄膜包含介质膜与类金刚石(DLC)保护膜两部分,可用于无热化红外探测系统窗口片中。研究了介质膜的破损机理,通过优化介质膜的沉积温度,提高了介质膜的附着力。研究了压强对DLC薄膜微观结构和应力的影响,通过将DLC薄膜拆分为低应力黏结层与高应力耐摩擦层,提升了薄膜耐摩擦性能与膜层牢固度,并降低了膜层应力。测试结果表明,减反保护膜在8~12 μm波段的平均反射率为3.0%,且通过了GJB2485-1995标准测试中的盐雾测试、高低温测试和重摩擦测试,具有良好的耐环境适应性能。