微/纳机电系统发展特点及前景

微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米/纳米技术的重要组成部分，逐渐形成一个新的技术领域。MEMS已经在产业化道路上发展，NEMS还处于基础研究阶段。本文分析了微/纳机电系统的发展特点，简要地介绍了典型的MEMS和NEMS器件和系统后，讨论了MEMS和NEMS发展中的几个问题和MEMS和NEMS的发展前景。