运用深能级瞬态谱(DLTS)技术,结合等时退火,研究了1.8MeV电子辐照在n型LPE Ga1-xAlxAs (0≤x≤0.28)层中产生的电子陷阱。结果表明,这些电子陷阱可按退火温度分为两类:一类退火温度在480~510K之间,包括E1、 E2和E3;另一类包括未见报道过的Q1、Q2、Q3和Q4,其退火温度高于600K。 Q2的出现与A1原子存在有关,是n型LPE Ga1-xAlxAs(x>0)中特有的缺陷。
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