溶胶一凝胶法制备(Bi, Nd)4 Ti3 012铁电薄膜 (2009年)

采用溶胶一凝胶法在Pt/Ti/SiO:/Si基片上制备了（Bi，Nd）4Ti3O12铁电薄膜。将薄膜分别进行每一层、每二层、每三层500℃空气中预退火l0min，分别称为样品a、b、C，最后都于氮气氛中680℃总退火半小时。结果表明预退火工艺对薄膜的铁电性能影响很大。样品a、b的铁电性能（2Pr分别为47.8uC/cm。和51.9uC/cm。）远远高于样品c（2Pr=28.7uC/cm2）。三组薄膜都呈现良好的抗疲劳特性。