准分子激光诱导沉积锰和钨薄膜

用波长为308 nm XeCl准分子激光辐射光解羰基锰二聚物Mn2(CO)10和羰基钨W(CO)。沉积锰和钨薄膜,研究了实验参量与薄膜特性之间的关系。